本实用新型公开了一种自排气钽酸
锂单晶棒晶托，它包括基体、一体设置于所述基体任一表面中部的承料体、一体设置于所述基体表面上且围设于所述承料体四周的多个支撑体以及设置于所述承料体上表面边缘的热敏胶圈，每个所述支撑体和所述承料体之间形成沟槽，所述热敏胶圈上开设有缺口，所述支撑体上表面为由内向外朝所述基体倾斜的斜面。这样可以减小支撑体上表面高低不平带来的影响，提高钽酸锂单晶棒的加工质量。
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“自排气钽酸锂单晶棒晶托” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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