本发明公开了一种基于钽酸
锂热释电材料的太赫兹线列探测器及其制备方法，首先从钽酸锂晶圆片上切片减薄获得线列探测器所需晶片尺寸，然后在晶片背面制备条形电极，形成探测器下电极，该电极亦为线列各单元公用电极；然后在晶片正面形成各单元所需上电极图形；然后结合光刻形成单元隔离槽。最后在下电极上制备太赫兹吸收层。至此得到线列探测器敏感元结构。该结构结合MEMS（微机电系统）加工技术，可获得良好的热隔离效果，且加工工艺相对于微桥结构太赫兹探测器较为简单。
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“基于钽酸锂热释电材料的太赫兹线列探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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