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离子束溅射镀膜系统

离子束溅射镀膜系统

浏览量 518
规格/型号:暂无
品牌:好智多
应用领域:材料加工
产地:辽宁 - 沈阳
厂家/供应商:沈阳好智多新材料制备技术有限公司
咨询电话::024-8809657(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-02-26
级别:待认证

离子束溅射镀膜系统说明介绍

离子束溅射镀膜系统

离子束溅射镀膜系统


设备用途:

设备用于各种金属薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、超晶格薄膜、集成光学薄膜、多层薄膜和薄膜器件的制备。该系统可以与磁控溅射系统结合,单独也可以同时进行磁控溅射镀膜和离子束溅射镀膜膜,也可以联合制备磁控和离子束溅射复合膜。样品通过磁力进样机构实现在两个真空室之间的传递。整个系统具有用离子束制备超薄膜到中厚膜和用磁控溅射制备中厚膜到厚膜的全部功能
离子束溅射镀膜系统
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