本发明涉及一种在
锂电池生产用轧辊表面制备氮化钛膜层的方法，包括步骤(1)对锂电池生产用轧辊表面进行预处理；(2)将预处理后轧辊固定在氮化炉内工件台上进行自转，并将钛或者钛合金靶材装配在靶材工装上；(3)对氮化炉进行抽真空后通入氮气；(4)以轧辊为阴极，氮化炉为阳极，在轧辊和氮化炉之间加载直流脉冲高压电进行通电，氮气发生电离，轧辊周围含氮气体产生辉光放电，进行离子渗氮处理；(5)离子渗氮处理后，经离子源向氮化炉内注入氮化钛离子束，调节氮化钛离子束注入的温度、能量、束流和剂量，对轧辊表面进行高能离子注入处理，冷却至室温，形成氮化钛膜层。本发明耐磨性及结合强度好，表面硬度高，孔隙率底，不会剥落。
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来源：北方有色网
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