本发明公开了一种射频等离子体增强化学气相沉积实现
磷酸铁锂导电层包覆的方法。它包括以下步骤：将磷酸铁锂置于反应室中，在稀释的反应性气体中，在射频等离子体下，反应10～120min，反应室的总气压维持在10～1000Pa，射频等离子体的电源输出功率为60～400W，所述的稀释的反应性气体是由稀释气体和反应性气体按照体积比5～20：1混合而成，所述的反应性气体为
硅烷、SiH3Cl、SiH2Cl2、硼烷、锗烷、磷烷或任意两者的混合气体，所述的稀释气体为氢气、氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中的任意一种，由此而制得导电层包覆磷酸铁锂。本发明与常规的化学气相沉积相比，具有反应活性高，反应温度低，反应时间短的优点。
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来源：北方有色网
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