本发明公开了一种低温超声雾化热解沉积
锂掺杂立方相SnO2薄膜的方法，该方法以氯化亚
锡为溶质、无水乙醇与去离子水为溶剂、无机锂盐为掺杂剂混合成溶液，将溶液置于雾化罐中，衬底设置于夹具中，对衬底进行超声雾化热解喷涂，得到沉积于衬底上透过率导电性优良的SnO2薄膜。锂离子以间隙离子的形式存在于SnO2晶格间隙中，可提供一个导电电子，提高自由载流子的浓度，提升透明导电薄膜的综合性能。本发明采用高频超声波来雾化前驱溶液，可获得细小、均匀的雾气，通过对垂直衬底夹具的改进，能降低制备所需温度，节约能源，保护加热平台；本发明能在较低压力和较低温度下制备立方相二氧化锡薄膜。
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来源：北方有色网
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