本发明提供一种在Z切铌酸
锂薄膜上制作Y传脊型光波导的方法，制作Y传脊型光波导的方法包括：在铌酸锂单晶薄膜+Z面的波导区形成掩膜；轻质子交换，非波导区在+Z面实现质子交换，波导区在非波导区与波导区的边界处实现X面质子交换；其中，质子源为苯甲酸和苯甲酸锂的混合物，苯甲酸锂的质量比为2％。本发明提出一种在Z切铌酸锂薄膜上制作Y传脊型光波导的方法，其主要在X切方向采用2％缓冲质子交换，可在Z切铌酸锂薄膜上制备出侧壁(X面)和表面(Z面)均很光滑、损耗低的Y传脊型光波导。
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“在Z切铌酸锂薄膜上制作Y传脊型光波导的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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