本发明公开了一种磷酸
锂靶材及其制备方法,该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材的制备方法包括以下步骤:(1)提供磷酸锂粉末,并将其液压成型为坯件;(2)对所述的坯件进行冷等静压加工;(3)将经过步骤(2)的坯件置于炉中进行烧结,烧结过程采用了多阶段性升温加压的方式。按照本发明方法制备的磷酸锂靶材晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下,溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜,从而提高全固态薄膜锂离子电池的
储能量和循环次数。
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来源：北方有色网
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