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用于沉积含锂的层、岛或簇的锂前体

1085   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:56:32
用于在基材上形成含Li的膜、岛或簇的方法包括以下步骤:将无硅的前体的蒸气引入到反应器中,以及使用气相沉积方法将该无硅的锂前体的至少一部分沉积到该基材上以形成该含Li的膜、岛或簇。
声明:
“用于沉积含锂的层、岛或簇的锂前体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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