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锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法

796   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:44:47
获得一种靶自动再生装置及锂靶自动再生方法,其具备锂靶的锂的膜厚的测定功能,并且可使蒸镀源向锂靶移动,自动地进行消耗了的锂靶的再生。锂靶自动再生装置(106)可自动地再生锂靶的锂,该锂靶自动再生装置(106)具备使锂蒸镀到锂靶上的锂蒸镀单元(1),锂蒸镀单元(1)可移动到锂靶侧,使锂蒸镀到锂靶上。
声明:
“锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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