本申请提供了一种MEMS惯性传感器，可用于智能汽车、
新能源汽车、传统汽车、高铁列车、无人机、智能机器人、摄像稳定平台、智能手机等载体中。所述MEMS惯性传感器包括：衬底；传感组件，所述传感组件包括MEMS悬浮框架，以及，内嵌于所述MEMS悬浮框架内的MEMS功能结构；第一支撑臂，所述第一支撑臂分别与所述MEMS悬浮框架和所述衬底固定连接，所述第一支撑臂用于使所述传感组件悬浮于所述衬底上。本申请提供的MEMS惯性传感器能够阻断封装应力通过衬底、盖板耦合到MEMS惯性器件功能结构上，提升了MEMS惯性传感器的稳定性，并且有利于提升导航的定位精度。
声明：
“MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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