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磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法

892   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 20:32:55
一种制备纳米多孔金属薄膜的方法,通过磁控溅射工艺制备。本发明的方法制作工艺简单,并可以常温下制备出纳米多孔金属薄膜;所制备的多孔金属薄膜具有超薄、比表面积大、活性高、膜层均匀、易于微器件集成等特点,可以应用于催化、新能源领域,并可以直接作为超级电容器材料制备微型电容电极。
声明:
“磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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