本实用新型公开了一种用于新能源
动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构，主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓；由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室，各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通过；卷绕室内设置有卷绕系统，卷绕系统包括放卷辊、放卷过渡辊、收卷过渡辊和收卷辊；真空镀膜室设置有磁控靶装置，所述的真空镀膜室和射频离子反应室均为2个以上。本实用新型通过射频离子反应室的设置，将镀膜室和反应室分开，实现了金属氧化物薄膜的高速制备，解决了金属氧化物的反应溅射镀膜缓慢的问题。
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“用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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