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晶硅制备碳碳坩埚

1093   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 18:02:01
本实用新型公开了一种晶硅制备碳碳坩埚,包括坩埚圆筒壁、坩埚底座和坩埚盖,所述坩埚圆筒壁上端前侧开设有出气孔,且坩埚圆筒壁左侧固定安装有上把手,并且坩埚圆筒壁下端面开设有三角凹槽,并且三角凹槽下端面连接有三角凸块。所述坩埚底座上端面固定有三角凸块,且坩埚底座右侧固定安装有下把手,所述坩埚盖上固定连接有盖把手,且坩埚盖下端面前侧开设有盖口,坩埚盖下端面预留有坩埚圆筒壁。该晶硅制备碳碳坩埚将坩埚圆筒壁和坩埚底座分开,坩埚圆筒壁采用碳/碳复合材料制成,坩埚底座采用石墨制成,使用寿命长,节约石墨,在坩埚圆筒壁和坩埚底座外壁设有把手,方便运输移动,使得制备更加方便。
声明:
“晶硅制备碳碳坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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