一种应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟,由内腔、外腔、连接板、盖板、连接操作杆及固定螺栓组成,内外腔由石英制成,石英内腔套在石英外腔内,内外腔之间留有空隙。其中石英内腔(2)中放置需生长P型层的磷化镓基片,在石英内腔的下面开有通槽,石英外腔(3)腔体内可装生长过程中所需的熔融
复合材料。石英内腔(2)可在传动装置的带动下在石英外腔(3)体内上下运动,石英外腔(3)中的熔融体通过石英内腔(2)下面的通槽进入或离开石英内腔(2)中的磷化镓基片,完成P型层的生长过程。本实用新型的结构简单,适用性强,无密封腔室,装配的精度要求低,在操作时即使有一定的熔融残留仍可使用,有效地减少了操作时的化学清洗次数,防止对生长环境污染,提高产品品质。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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