一种应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟,由内腔、外腔、连接板、盖板、连接操作杆及固定螺栓组成,内外腔由石英制成,石英内腔套在石英外腔内,内外腔之间留有空隙。其中石英内腔(2)中放置需生长P型层的磷化镓基片,在石英内腔的下面开有通槽,石英外腔(3)腔体内可装生长过程中所需的熔融
复合材料。石英内腔(2)可在传动装置的带动下在石英外腔(3)体内上下运动,石英外腔(3)中的熔融体通过石英内腔(2)下面的通槽进入或离开石英内腔(2)中的磷化镓基片,完成P型层的生长过程。本实用新型的结构简单,适用性强,无密封腔室,装配的精度要求低,在操作时即使有一定的熔融残留仍可使用,有效地减少了操作时的化学清洗次数,防止对生长环境污染,提高产品品质。
声明：
“应用于红色磷化镓P型液相外延的石英舟” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
833
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
