本实用新型公开了一种表面具有抗氧化涂层的炭素材料发热体它包括由碳/碳
复合材料或石墨材料组成的基体(1),其特征是基体(1)的表面设有由原位生长的
碳化硅晶须组成的过渡层(2),本实用新型在炭素材料基体上原位生长一层碳化硅晶须,利用碳化硅晶须的拔出桥连与裂纹转向机制降低涂层中的裂纹尺寸和数量,有利于大幅度提高碳化硅涂层的抗氧化性能和抗热震性能,而且整个制备过程可以通过化学气相沉积连续完成,大大简化了涂层的制备过程,可在
半导体材料区域提纯中作为辅助发热体使用。
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来源：北方有色网
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