本发明是有关于一种具氮化
铝薄膜的热扩散元件及其制作方法，包含：一基板，基板的组成可为单一材质、多层结构、或
复合材料；及一氮化铝薄膜，其设于该基板的表面，该氮化铝薄膜的厚度是介于1nm至10μm之间，而该氮化铝薄膜是作为热传输媒介；尤指将置于其上的发热元件所产生的热传输至基板，再经由基板将热传至散热鳍片。
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“具氮化铝薄膜的热扩散元件及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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