一种有机电致发光元件的制造方法,其包括:在支撑基板上形成第一电极层的工序;在上述第一电极层的上层形成发光层的工序;在上述发光层的上层形成电荷注入层的工序;在上述电荷注入层的上层形成金属层的工序,所述金属层含有选自
铝、银、
锡、
铜以及含有它们中的2种以上的复合金属材料中的材料;以及在上述金属层的上层,采用低损伤溅射法、离子镀法或CVD法使选自透明导电性氧化物、透明导电性氮化物以及它们的
复合材料中的电极材料层叠,形成上述第二电极层的工序。
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来源：北方有色网
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