提供一种阀及半导体制造装置，其即使在高温下使用也不会产生烧熔等而能够长时间使用，并且不会污染腔室内。阀(1)具备：增力机构(30)，其增大驱动力；第一阀杆(25)及第二阀杆(26)，其承受增力机构(30)增大的力进行移动；以及
隔膜(11)，其能够对流体通路(2b、2c)进行开关。增力机构(30)具备：保持器(31)及轴承(32)；轴(33)，其两端支撑于轴承(32)；以及臂(34)，其被轴(33)支撑成能够摆动，并具有承受驱动力的外端部(34C)和增大驱动力并向第一阀杆(25)传递的内端部(34B)，在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)以及臂(34)中，构成利用臂(34)的摆动而产生的滑动部的轴(33)的两端部和轴承(32)之中，轴承(32)由
碳纤维复合材料构成。
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来源：北方有色网
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