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分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法

1019   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 17:32:04
一种分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法是将载体与乙醇混合分散成均匀悬浮液,涂覆在玻璃片表面,向MLD反应腔体中先通入异氰酸酯脉冲,再通入前驱体使之在载体依次表面发生单分子层反应,得到的表面沉积了含锌有机无机复合膜的基底材料在空气、氧气、氢气或惰性气氛中于250-900℃下处理1-2h,除去含锌有机-无机复合膜中的有机部分,即可得到基底材料表面沉积氧化锌纳米颗粒的复合材料。本发明具有制备尺度可控、分散均一的优点。
声明:
“分子层沉积制备负载型ZnO纳米颗粒的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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