本发明公开了一种包括过滤器装置(149)的光刻设备(1)。过滤器装置(149)具有连接至保持器(201)的多个翼片(200),所述保持器能够围绕旋转轴线(RA)旋转。所述翼片(200)被布置基本上平行于所述旋转轴线(RA)。所述翼片(200)包括从由碳-碳复合物(C-C复合物)和碳-
碳化硅复合物(C-SiC复合物)构成的组中选出的单向
碳纤维复合材料。在操作期间,过滤器装置(149)旋转且过滤出来自辐射源(SO),例如Sn等离子体源的碎片。可以提供这样的过滤器装置(149)本身。
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来源：北方有色网
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