一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉,包括炉盖、炉体和炉座,所述炉盖、炉体连接为一体,在所述炉盖、炉体中设有保温罩组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上;在所述炉座上设有三根或六根同圆周均布的立杆式发热体,在所述保温罩内设有与所述发热体数量相匹配的料柱室,所述料柱室上设置有布气环。本发明结构合理、能耗小、产能高,采用内热式多发热体三相平衡组合式结构,炉子结构紧凑节能。有效掌控热梯度,实现相关物理场的耦合,提高CVD质量和效率。采用多层式预热环式旋流供气,提高反应室气氛均匀度。采用独立反应室的多料柱装料,大大扩大炉子产能和提高热效率。适用于制备C/C
复合材料刹车盘及炭/陶复合材料环形多工件的增密。
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来源：北方有色网
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