本发明提供的方法基于蒙特卡洛方法模拟粒子形成薄膜的随机过程。根据所选多相材料的特点设定参与随机事件的粒子数量和相关的能量参数，并对薄膜基底的材料和形貌进行选择和定义，获得三维薄膜生长模拟的过程信息。通过改变沉积相的参数，沉积条件（如，温度，基底表面形貌）等模拟条件，可以帮助技术人员发掘复合多相薄膜结构形态形成的机理。
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“复合材料薄膜三维多相同步生长的模拟方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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