本发明的目的是提供磁控溅射制备基于 Ti6Al4V表面 HA+ZrO2+Y2O3生物复合薄膜人 工骨种植体的方法。通过 HA+ZrO2+Y2O3复合靶材制备、 Ti6Al4V基材表面活化处理，再将HA复合靶材和 Ti6Al4V基材分别置入主溅射室和进样室，合理控制磁控溅射工 艺参数进行溅射，溅射后从主溅射室取出试样，并在进样室进 行后处理，得到基于 Ti6Al4V表面HA复合生物薄膜人工骨种植体。本发明与现有制 备技术相比较，优点如下： HA+ZrO2+Y2O3生物复合薄膜与 基材附着强度高，可达60～100MPa； Ti6Al4V基材温升低，膜层成分均匀稳定，一般不存在HA的分 解；通过磁控溅射工艺参数调整，可以使HA复合生物薄膜梯 度变化，而且HA生物复合薄膜表面呈现10％～30％孔隙，有 助于缺损骨组织的修复和重建；成本较低，膜层较薄，厚度为 2～5um，所用HA复合粉体相对较少。
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来源：北方有色网
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