本发明公开了一种等离子体处理设备及用于其上的高导电导磁
复合材料，该高导电导磁复合材料用于制造等离子体处理设备的反应腔外壁，包括高磁导率基材和设置在所述高磁导率基材表面的高电导率层；所述高磁导率基材的材质为坡莫合金。其内芯层磁导率高，外表层电导率高，可以同时满足刻蚀机对磁场和电场屏蔽的需求，通过蒸镀，气相沉积，热喷涂，冷喷涂等方式加工简单，可以实现批量生产。
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来源：北方有色网
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