本发明公开了属于微型
储能器件及微电子机械加工技术领域,特别涉及一种纳米多孔
复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法。该三维微型超级电容电极为在硅衬底上依次为二氧化硅绝缘层、金属电流收集引出层及电极活性材料层,形成三维立体结构的超级电容电极。制作方法是通过MEMS刻蚀工艺在硅衬底上形成长宽深比为一定比例的沟槽,将通过有机粘结剂将电极活性材料、导电增强剂粘结、在沟槽中堆积并形成自支撑电极,刻蚀侧壁形成对插的三维电极,本发明采用向垂直于
芯片面积的第三维方向延伸的三维电极结构,微型化、集成化程度高,从而形成的超级电容相对于电池可提供更高的功率输出,且具有更好的充放电可循环性和更高的充放电的效率。
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“纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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