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多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构

972   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:28:02
本实用新型涉及一种多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构,该加热带 结构包括石墨头,石墨垫块、碳/碳复合材料加热带和紧固螺栓,所述碳/碳复合 材料加热带整体弯制成拱门形,碳/碳复合材料加热带的两个端头被石墨头和石 墨垫块夹持,并通过紧固螺栓固定,所述碳/碳复合材料加热带的截面形状为折 角形或弧形。本实用新型多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构的有益效果 是,折角形或弧形的横截面型式增加了加热带的抗弯模量,有效防止了由于加 热带弯曲、倒伏产生的电极短路现象,同时能够起到对气体的引流作用,使气 体沿加热带向上运动,延长了混合气体在氢化炉内的反应时间,提高了SiHCl3 的产率,保证设备的稳定运行。
声明:
“多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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