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C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法

746   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:27:01
一种C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)制备并预处理C/C复合材料坯体;(2)C/C复合材料坯体表面处理:使用激光切削装置真空环境下在C/C复合材料坯体的表面形成均匀的槽口,所有的槽口形成网格状结构;(3)SiC涂层的制备:采用化学气相沉积法,并以三氯甲基硅烷MTS作为前驱体以提供沉积反应的硅源和碳源;(4)连续重复步骤(3)中的沉积过程1‑2次,重复之前,清空化学气相沉积炉中的残留气体,更换新的三氯甲基硅烷MTS作为前驱体以提供沉积反应的硅源和碳源,其余沉积条件不变。本发明可以有效解决SiC高温氧化时产生的严重氧化甚至剥落、脱离现象及失效现象,利于延长涂层的使用寿命,从而利于提高C/C复合材料的高温抗氧化性能。
声明:
“C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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