一种梯度界面应力调控下掺杂钛酸锶薄膜磁敏材料的制备方法，属于电子
功能材料与器件以及薄膜材料生长领域。本发明通过构建掺杂钛酸锶薄膜材料与衬底间的梯度应力场与界面极化场触发材料输运中的强关联效应，以实现对所生长掺杂钛酸锶薄膜材料磁阻系数的大幅提高。精准控制等离子体性质、薄膜与衬底间晶格失配度、薄膜与衬底材料组分，从而实现对掺杂型钛酸锶薄膜材料与衬底间的界面应力梯度场与界面极化场的优化设计与控制，是实现磁阻大幅提高的必要条件。本发明所获得的一种处于梯度应力场作用下的掺杂钛酸锶磁场敏感材料，可应用于进一步制备磁场探测、磁传感等电子器件方面。
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来源：北方有色网
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