本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境
功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Mg中掺Si，一定程度上可减小Mg的应力，Si可以穿透Mg的晶格，抑制Mg的结晶，并且原子半径较小的Si占据Mg膜中的空位而产生拉伸作用，这种拉伸作用随着Si掺杂质量分数的增大逐渐占据对薄膜应力的主导作用，从而使Mg从压应力转变为张应力，进而提高了极紫外波段薄膜的机械性能，同时不影响透过率。
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来源：北方有色网
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