本发明提供了一种基于
电化学微纳体系的
功能材料的微纳加工方法及其装置，可在特定基底或者微纳
芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料，用于构筑全固态微纳米器件。所述方法包括：构筑微纳米尺度的电化学反应器，以将合成功能材料的物理化学过程限制在微纳米尺度的空间内；以及调控待加工的导电基底或芯片上的微区物理化学环境，以在导电基底或微纳芯片上原位合成微纳米尺度的功能材料。所述装置包括微纳米尺度的电化学反应器、电化学工作站、微纳米精度的三维微动系统、视频监视器和信息处理计算机。
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“基于电化学微纳体系的功能材料的微纳加工方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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