本发明公开了一种W-Ti合金靶材的制造方法,该方法以纯度高于99.9%的W粉和纯度高于96.7%的TiH2粉为原料,经过对TiH2粉末的高能球磨,随后与W粉进行混粉;然后在压力为250~280MPa,保压时间为3~6min的条件下进行压坯,再对压胚进行真空无压烧结,然后将烧结后的合金进行固溶退火,随后淬火冷却;最后将W-Ti合金机加工成靶材成品即可。本发明与现有技术相比,工艺方法上烧结温度低,烧结过程中不附加任何压力,且所制备的合金靶材合金组织均匀、致密度高、可控尺寸大。
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来源：北方有色网
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