本发明提出了一种
稀土金属旋转靶材及其制备方法，该
稀土金属选择靶材的制备包括：S1、制备平均粒径D
50为10‑80μm的稀土金属粉末；S2、将稀土金属粉末装入模具中；S3、将模具放入冷等静压机内压制成型，得到素胚；S4、将素胚放入烧结炉中烧结，烧结温度为800‑1400℃，保温时间10‑80小时；S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度，加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产，制备得到的稀土旋转靶材质量好，具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低，提高
钕铁硼永磁材料的矫顽力。
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“稀土金属旋转靶材及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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