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用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法

804   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:46:01
一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法,属于有色金属冶金技术领域,用于真空磁控溅射粉红色金靶材成分按重量百分比含Au82.0~95.0%,Pd0.5~7.0%,Fe0.3~4.0%,Cu0.5~3.0%,Cr0.1~3.0%,In0.05~1.0%;方法按以下步骤进行:(1)准备原料;将Au加热熔化,将Pd放入熔化的Au中,互熔后依次加入Fe、Cu、Cr和In;(2)将金属熔体搅拌均匀,然后加热至1200~1300℃,保温3~5min进行精炼;(3)浇注到预热的模具中,空冷至常温,获得铸坯;(4)铣面、轧制、退火、剪切和校平。本发明的粉红色金靶材应用于镀膜技术中,可获得色泽均匀、抗氧化性抗硫化性好、表面硬度高、耐磨性好的粉红色膜层,具有广阔的应用前景。
声明:
“用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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