本发明公开了一种硫系多元合金靶材及其制造方法，所述靶材包括的化学元素及其质量分数为：锗10‑30％，砷20‑40％，硒30‑50％，硅0‑10％，碲0‑10％；所述靶材的相对密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空条件下合成高纯度合金，再采用高速喷嘴气雾化制球形粉末，合金快速凝固成玻璃态，同时增氧很小，最后采用真空热压或者放电等离子体烧结实现高致密烧结成形，烧结过程中不存在污染问题。采用本发明制备的硫系多元合金靶材的综合性能好，组织性能优异，密度高，氧含量低。
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来源：北方有色网
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