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复合结构金银合金电镀凸块及其电镀方法

249 编辑：北方有色网来源：江苏晶度半导体科技有限公司

2025-11-12 16:29:00

权利要求 1.一种复合结构金银合金电镀凸块，其特征在于，包括在基体表面依次形成金银合金层、多孔金纳米壳层、牺牲阳极条纹及纯金保护层;所述多孔金纳米壳层通过硝酸银与金盐的置换反应生成，厚度为50-100nm;所述金银合金层边缘设置宽度5-10μm的镁锌条纹阵列，镁锌条纹之间的间距为20-50μm;所述牺牲阳极条纹的外层通过0.3-0.6ASD电流密度电镀0.5-2μm纯金保护层，形成完全包覆结构;其中，所述多孔金纳米壳层的孔径分布在50-100nm范围内，孔隙率为30-50%。 2.一种复合结构金银合金电镀凸块电镀方法，其特征在于，包括：S1、将金纳米颗粒在有机溶剂中超声分散，加入硝酸银和水，控制温度在60-80℃，搅拌反应2-4小时，得到金银合金纳米颗粒; S2、将所述金银合金纳米颗粒过滤并洗涤至中性，加入氢氧化钠溶液，在80-100℃下搅拌2-3小时，去除银; S3、将以上产物过滤并洗涤至中性，加入硝酸溶液，在60-80℃下搅拌1-2小时，去除金纳米颗粒外层; S4：将所述产物过滤并洗涤至中性，加入氢氧化钠溶液，在60-80℃下搅拌1-2小时，得到中空多孔金纳米壳层; S5：将镁锌金属片裁剪成条状，条宽5-10μm，间距20-50μm，将所述镁锌金属片在酸性溶液中电镀0.5-1μm，得到镁锌牺牲阳极条纹; S6：将上一步骤的产物在氯化剂溶液中超声清洗10-20分钟，将所述产物在碱性溶液中电镀0.5-2μm的纯金保护层。 3.根据权利要求2所述的一种复合结构金银合金电镀凸块电镀方法，其特征在于，所述将金纳米颗粒在有机溶剂中超声分散，加入硝酸银和水，控制温度在60-80℃，搅拌反应2-4小时，得到金银合金纳米颗粒包括：将金纳米颗粒在乙醇有机溶剂中超声分散30分钟，分散浓度为0.5mg/mL，超声设备功率设置为300W，超声频率为40kHz，随后加入0.1mol/L硝酸银水溶液10mL和去离子水50mL，控制温度在70℃，搅拌反应3小时，得到金银合金纳米颗粒。 4.根据权利要求2所述的一种复合结构金银合金电镀凸块电镀方法，其特征在于，所述将所述金银合金纳米颗粒过滤并洗涤至中性，加入氢氧化钠溶液，在80-100℃下搅拌2-3小时，去除银包括：将金

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