权利要求
1.一种制备金属蒸气的蒸发炉,包括炉体,其特征在于,所述炉体包括:
进气段(1),用于提供保护气体;
金属熔化段(2),用于将固态金属熔化并形成金属液体;
金属蒸发段(3),用于将所述金属液体蒸发形成金属蒸气,所述金属熔化段(2)与金属蒸发段(3)相连,且金属熔化段(2)和金属蒸发段(3)之间设有供金属液体从金属熔化段(2)流入金属蒸发段(3)的金属液体流通通道,所述进气段(1)的输出端与金属蒸发段(3)相连;
进炉段(4),用于将所述金属蒸气送入烧结炉(b),所述进炉段(4)的输入端与金属蒸发段(3)相连。
2.根据权利要求1所述的蒸发炉,其特征在于,所述金属液体流通通道内设有金属液体导流管(26),金属液体流通通道上还设有用于调节所述金属液体导流管(26)内温度的流通通道加热件(25)。
3.根据权利要求2所述的蒸发炉,其特征在于:所述金属液体流通通道和金属液体导流管(26)均沿竖直方向设置,所述金属熔化段(2)设置在所述金属蒸发段(3)的上方,所述进气段(1)设置在所述金属蒸发段(3)的下方,所述金属蒸发段(3)的一侧与所述进气段(1)的输出端相连,另一侧与所述进炉段(4)的输入端相连。
4.根据权利要求1至3任一项所述的蒸发炉,其特征在于,所述金属蒸发段(3)包括蒸发段炉管(31),所述蒸发段炉管(31)内设有蒸发坩埚(32),所述蒸发坩埚(32)的一侧设有与所述进气段(1)的输出端连通的进气口,另一侧设有与所述进炉段(4)的输入段连通的排气口,蒸发坩埚(32)的顶部设有与所述金属液体流通通道连通的进液口,所述金属蒸发段(3)还包括蒸发段加热件(33)和用于获取所述蒸发段炉管(31)内温度信息的蒸发段热电偶。
5.根据权利要求1至3任一项所述的蒸发炉,其特征在于,所述金属熔化段(2)包括熔化段炉管(21),所述熔化段炉管(21)内设有熔化坩埚(22),所述熔化坩埚(22)的底部设有与所述金属液体流通通道连通的排液口,所述金属熔化段(2)还包括熔化段加热件(23)和用于获取所述熔化段炉管(21)内温度信息的熔化段热电偶,所述金属熔化段(2)上还设有用于向所述熔化坩埚(22)内加入金属固体原料的金属加料机构(27),所述金属加
声明:
“制备金属蒸气的蒸发炉、金属蒸气的制备方法及烧结装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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