权利要求
1.一种废气处理设备的进气口，其特征在于，包括：
进气管(10)，所述进气管(10)的一端设置有出气口，所述进气管(10)的另一端设置有开口;
密封组件(20)，所述密封组件(20)设置于所述进气管(10)的另一端，并将所述开口封堵;
刮刀(30)，所述刮刀(30)设置于所述进气管(10)的内部;
驱动组件(40)，与所述密封组件(20)以及所述刮刀(30)连接，所述驱动组件(40)用于驱动所述刮刀(30)转动，以将所述进气管(10)内壁上的粉尘刮掉;
吹扫进气管(60)，所述密封组件(20)设置有与所述进气管(10)内部连通的进气孔，所述吹扫进气管(60)与所述进气孔连通，所述吹扫进气管(60)用于通过所述进气孔向所述进气管(10)内输送气体。
2.根据权利要求1所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述刮刀(30)呈杆状结构，所述刮刀(30)沿所述进气管(10)的轴向延伸。
3.根据权利要求2所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述刮刀(30)的横截面呈半圆形，所述刮刀(30)的平面朝向所述进气管(10)的内壁。
4.根据权利要求2所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述进气管(10)的侧壁设置有进气连接管(12)，所述进气连接管(12)与所述进气管(10)垂直。
5.根据权利要求2所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述密封组件(20)包括：
密封法兰(21)，所述进气管(10)另一端的外周面设置有连接法兰(11)，所述密封法兰(21)与所述连接法兰(11)连接，并将所述开口封堵，所述进气孔设置于所述密封法兰(21);
电机法兰(22)，所述电机法兰(22)套设于所述密封法兰(21)远离所述进气管(10)的一端，所述电机法兰(22)与所述驱动组件(40)连接。
6.根据权利要求5所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述密封法兰(21)在所述电机法兰(22)朝向所述驱动组件(40)的一侧形成台阶(23)，所述驱动组件(40)与所述台阶(23)抵接。
7.根据权利要求6所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述台阶(23)设置有密封圈，所述密封圈与所述驱动组件(40)以及所述台阶(23)密封配合。
8.根据权利要求7所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述台阶(23)设置有凹槽，所述密封圈部分嵌入所述凹槽内。
9.根据权利要求6所述的废气处理设备的进气口，其特征在于，所述密封法兰(21)内穿设有连接轴(24)，所述连接轴(24)的一端与所述刮刀(30)连接，所述连接轴(24)的另一端与所述驱动组件(40)连接。
10.一种废气处理设备，其特征在于，所述废气处理设备包括权利要求1至9任一项所述的废气处理设备的进气口。
说明书
技术领域
[0001]本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理设备的进气口及废气处理设备。
背景技术
[0002]随着泛半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气(NF3、PH3、B2H6、SiH4等)，这些气体大多对人体和环境危害严重。排放出的废气多数比空气重，如果排放进大气，经过蔓延后会沉积在地面上，并达到很高的浓度，造成严重的环境污染，危害人体健康。如若遇到火种，将造成火灾，甚至产生爆炸。因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。目前，废气处理设备包括进气管和负压管，在使用时废气会进入到进气管内与刮刀或者电机接触，造成电机或者刮刀损坏。
实用新型内容
[0003]本实用新型提供一种废气处理设备的进气口，用以解决现有技术中废气会进入到进气管内与刮刀或者电机接触，造成电机或者刮刀损坏的问题。
[0004]本实用新型提供一种废气处理设备的进气口，包括：
[0005]进气管，所述进气管的一端设置有出气口，所述进气管的另一端设置有开口;
[0006]密封组件，所述密封组件设置于所述进气管的另一端，并将所述开口封堵;
[0007]刮刀，所述刮刀设置于所述进气管的内部;
[0008]驱动组件，与所述密封组件以及所述刮刀连接，所述驱动组件用于驱动所述刮刀转动，以将所述进气管内壁上的粉尘刮掉;
[0009]吹扫进气管，所述密封组件设置有与所述进气管内部连通的进气孔，所述吹扫进气管与所述进气孔连通，所述吹扫进气管用于通过所述进气孔向所述进气管内输送气体。
[0010]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述刮刀呈杆状结构，所述刮刀沿所述进气管的轴向延伸。
[0011]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述刮刀的横截面呈半圆形，所述刮刀的平面朝向所述进气管的内壁。
[0012]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述进气管的侧壁设置有进气连接管，所述进气连接管与所述进气管垂直。
[0013]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述密封组件包括：
[0014]密封法兰，所述进气管另一端的外周面设置有连接法兰，所述密封法兰与所述连接法兰连接，并将所述开口封堵，所述进气孔设置于所述密封法兰;
[0015]电机法兰，所述电机法兰套设于所述密封法兰远离所述进气管的一端，所述电机法兰与所述驱动组件连接。
[0016]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述密封法兰在所述电机法兰朝向所述驱动组件的一侧形成台阶，所述驱动组件与所述台阶抵接。
[0017]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述台阶设置有密封圈，所述密封圈与所述驱动组件以及所述台阶密封配合。
[0018]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述台阶设置有凹槽，所述密封圈部分嵌入所述凹槽内。
[0019]根据本实用新型提供的一种废气处理设备的进气口，所述密封法兰内穿设有连接轴，所述连接轴的一端与所述刮刀连接，所述连接轴的另一端与所述驱动组件连接。
[0020]本实用新型还提供一种废气处理设备，所述废气处理设备包括上述任一项所述的废气处理设备的进气口。
[0021]本实用新型提供的废气处理设备的进气口，由于刮刀与密封组件之间具有较小的空间，刮刀与进气管的内壁之间具有较小的间隙，通过吹扫进气管向进气管内输送气体，使得刮刀与密封组件之间的空间处于正压状态，阻止进气管中的废气进入刮刀与密封组件之间的空间，避免废气与连接轴或者减速机接触;气体通过刮刀与密封组件之间的空间进入刮刀与进气管的内壁之间的间隙，保护刮刀不被废气腐蚀，延长了刮刀的使用寿命。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是本实用新型提供的废气处理设备的进气口的立体结构示意图。
[0024]图2是本实用新型提供的废气处理设备的进气口的俯视结构示意图。
[0025]图3是本实用新型提供的废气处理设备的进气口的侧视剖面结构示意图。
[0026]附图标记 ：
[0027]10、进气管;11、连接法兰;12、进气连接管;20、密封组件;21、密封法兰;22、电机法兰;23、台阶;24、连接轴;25、外侧密封圈;26、内侧密封圈;30、刮刀;40、驱动组件;41、电机;42、减速机;50、刮刀固定板;60、吹扫进气管。
具体实施方式
[0028]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0029]在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
[0031]在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0033]下面结合图1-图3描述本实用新型的废气处理设备的进气口的具体结构和工作原理。
[0034]如图1至图3所示，废气处理设备的进气口包括进气管10、密封组件20、刮刀30、驱动组件40和吹扫进气管60，进气管10的一端设置有出气口，进气管10的另一端设置有开口;密封组件20设置于进气管10的另一端，并将开口封堵;刮刀30设置于进气管10的内部;驱动组件40与密封组件20以及刮刀30连接，驱动组件40用于驱动刮刀30转动，以将进气管10内壁上的粉尘刮掉;密封组件20设置有与进气管10内部连通的进气孔，吹扫进气管60与进气孔连通，吹扫进气管60用于通过进气孔向进气管10内输送气体。
[0035]本实用新型提供的废气处理设备的进气口，由于刮刀30与密封组件20之间具有较小的空间，刮刀30与进气管10的内壁之间具有较小的间隙，通过吹扫进气管60向进气管10内输送气体，使得刮刀30与密封组件20之间的空间处于正压状态，阻止进气管10中的废气进入刮刀30与密封组件20之间的空间，避免废气与连接轴24或者减速机接触;气体通过刮刀30与密封组件20之间的空间进入刮刀30与进气管10的内壁之间的间隙，保护刮刀30不被废气腐蚀，延长了刮刀30的使用寿命。电机41和减速机42大多使用碳钢或者
铝材制作，不耐腐蚀，通过设置吹扫进气管60，通过进气孔向进气管10内输送气体，解决了电机41被腐蚀导致损坏等问题。
[0036]在本实用新型的一个实施例中，进气管10呈圆形管体，进气管10的侧壁设置有与进气管10连通的进气连接管12，进气连接管12与进气管10垂直。进气管10与进气连接管12配合形成了三通连接件，进气管10与进气连接管12焊接连接或者一体成型。出气口用于与反应腔连通，空气通过进气连接管12进入到进气管10，再从出气口进入到反应腔中。
[0037]在本实用新型的一个实施例中，刮刀30的材质为耐腐蚀材料，刮刀30呈杆状结构，刮刀30沿进气管的轴向延伸。
[0038]在本实用新型的一个实施例中，刮刀30的横截面呈半圆形，刮刀30的平面朝向进气管10的内壁，即刮刀30的平面朝外，圆面向内，以减小与刮刀30与粉尘的接触面积，从而减少粉尘在刮刀30上的堆积。
[0039]在本实用新型的一个优选实施例中，刮刀30的表面设置有防粘涂层，以减少粉尘在刮刀30上的堆积。
[0040]在本实用新型的一个实施例中，驱动组件40包括电机41和减速机42，减速机42的输入端与电机41的转轴连接，减速机42的输出端与连接轴24的另一端连接，减速机42的壳体与台阶23抵接。当然，也可以将台阶23设置于减速机42，并使台阶23与密封法兰21朝向减速机42的一侧抵接。由于刮刀30在刮除粉尘的过程中会受到较大阻力，在电机41与刮刀30之间设置减速机42可提高驱动组件40输出的扭矩，增强刮刀30的刮除效果。电机41的壳体与减速机42的壳体连接，当然，也可以将减速机42集成在电机壳体内。
[0041]在本实用新型的一个实施例中，密封组件20包括密封法兰21和电机法兰22，进气管10另一端的外周面设置有连接法兰11，密封法兰21与连接法兰11连接，优选地，密封法兰21与连接法兰11之间设置有法兰密封圈，以提高密封法兰21与连接法兰11之间的密封性。设置密封法兰21可方便与进气管10进行连接，密封法兰21将开口封堵，密封法兰21的内部设置有通孔，通孔沿密封法兰21的中心轴线延伸，通孔用于安装连接轴24。进气孔设置于密封法兰21上，优选地，进气孔设置于密封法兰21的边缘。本实施例中进气孔设置有一个，当然，进气孔的数量并不限定于此，也可以设置多个，多个进气孔沿周向间隔布置。
[0042]本实施例中密封法兰21为KF法兰，当然，密封法兰21的具体结构并不限定于此，具体根据实际需要进行确定。
[0043]设置电机法兰22可方便刮刀30与驱动组件40进行连接，电机法兰22套设于密封法兰21远离进气管10的一端，电机法兰22与驱动组件40连接。具体地，电机法兰22呈片状结构，电机法兰22套设于密封法兰21远离进气管10的一端，即电机法兰22套设于密封法兰21的左端，电机法兰22与密封法兰21焊接连接或者一体成型。电机法兰22的四个角分别设置有一个通孔，电机法兰22通过通孔内的螺钉与减速机壳体连接。相较于使用气缸或者其他类型的驱动机构，使用电机41与减速机42配合，有效减小了驱动组件40的体积。
[0044]在本实用新型的一个实施例中，密封法兰21在电机法兰22朝向驱动组件40的一侧形成台阶23，即密封法兰21相对电机法兰22突出，电机法兰22与减速机壳体之间形成间隙。驱动组件40与台阶23抵接，具体地，减速机壳体与台阶23抵接，台阶23呈圆形台阶23，设置台阶23用于与减速机壳体密封配合，防止废气与减速机42或者电机41接触，造成电机41或者减速机42腐蚀。
[0045]在本实用新型的一个实施例中，台阶23设置有密封圈，密封圈的材质为橡胶，密封圈与驱动组件40以及台阶23密封配合。优选地，密封圈设置有两个，即外侧密封圈25与内侧密封圈26，外侧密封圈25的直径大于内侧密封圈26的直径，内侧密封圈26与通孔同轴设置，内侧密封圈26套设于转轴的外周面，内侧密封圈26既用于密封台阶23与减速机壳体之间的间隙，还用于密封转轴与台阶23之间的间隙，外侧密封圈25位于内侧密封圈26的外侧，外侧密封圈25用于密封台阶23与减速机壳体之间的间隙，以形成二次密封，外侧密封圈25与内侧密封圈26中的一个发生损坏，也不影响设备的正常工作。
[0046]在本实用新型的一个实施例中，台阶23设置有凹槽，密封圈部分嵌入所述凹槽内。具体地，凹槽设置有两个，即内侧凹槽和外侧凹槽，内侧凹槽与通孔同轴设置，且内侧凹槽与通孔连通，内侧密封圈26嵌设于内侧凹槽。外侧凹槽设置于内侧凹槽的外周，外侧凹槽的中心轴线与内侧凹槽的中心轴线为同一直线，外侧密封圈25嵌设于外侧凹槽内。
[0047]在本实用新型的一个实施例中，密封法兰21内穿设有连接轴24，连接轴24的一端与刮刀30连接，连接轴24的另一端与驱动组件40连接。具体地，连接轴24穿设于通孔内，连接轴24通过内侧密封圈26与密封法兰21密封配合，连接轴24的一端与刮刀30直接连接或者通过刮刀固定板50与刮刀30连接，减速机42的输出端设置有插接孔，插接孔为非圆孔，连接轴24另一端的横截面呈非圆形，连接轴24的另一端插设于插接孔内。当然，在一些实施例中，也可直接将减速机42的输出端穿过通孔之后与刮刀30或者刮刀固定板50连接。
[0048]在本实用新型的一个实施例中，废气处理设备的进气口还包括刮刀固定板50，刮刀固定板50呈圆形片状结构，圆形的刮刀固定板50与进气管10内壁之间的间隙可以做到最小，可充分阻挡进气管10内的粉尘向电机端扩散，有效防止粉尘堵塞导致驱动组件40卡顿或损坏。刮刀固定板50设置于进气管10的内部，刮刀固定板50与刮刀30焊接连接，当然，刮刀固定板50也可与刮刀30插接连接或者其他可拆卸连接方式连接，以方便对刮刀固定板50或者刮刀30进行更换。刮刀固定板50背离刮刀30的一侧与连接轴24的一端连接，具体地，刮刀固定板50背离刮刀30的一侧设置有连接部，连接部设置有螺纹盲孔，连接轴24的一端插设于螺纹盲孔，并与螺纹盲孔螺纹配合。
[0049]进一步地，盲孔的侧壁设置有螺纹通孔，螺纹通孔内设置有螺钉，螺钉与连接轴24的一端抵接，从而将连接轴24的一端固定于螺纹盲孔内。
[0050]进一步地，由于废气处理设备运行过程中有高温从刮刀30导热至连接轴24处，热胀冷缩下容易使得连接轴24与刮刀固定板50之间的连接发生松动，导致刮刀30与电机41分离，因此在连接连接轴24和刮刀固定板50的过程中，在连接轴24和刮刀固定板50之间注入耐高温固定胶水，耐高温固定胶水一方面可防止连接轴24和刮刀固定板50之间发生松动，另一方面可防止废气对连接轴24或者减速机42输出端的端面造成腐蚀。
[0051]本实用新型还提供一种废气处理设备，废气处理设备包括上述任一项实施例所述的废气处理设备的进气口。
[0052]最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
说明书附图(3)
声明：
“废气处理设备的进气口及废气处理设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：北方有色网
来源：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
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