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江苏无锡有色金属理论与应用

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基于深度强化学习的水泥搅拌桩质量评估方法

本发明提供了一种基于深度强化学习的水泥搅拌桩质量评估方法,包括以下步骤:步骤1:构建基于DQN的水泥搅拌桩质量评估深度强化学习模型;步骤2:采用深度强化学习方法训练质量评估深度网络;步骤3:定期进行验证测试,计算正负召回率;步骤4:当正负召回率趋于平衡时,模型训练结束,否则转至步骤2。步骤5:用训练好的深度强化学习模型对各种水泥搅拌桩进行质量评估。本发明考虑到水泥搅拌桩质量影响因素的多样性,将软土特性、固化剂和施工工艺都纳入模型进行训练,提高了评估结果的真实性和可靠性。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
基于异步联邦和深度强化学习的协作边缘缓存方法

本发明公开了一种基于异步联邦和深度强化学习的协作边缘缓存方法,该方法首先使用异步联邦学习框架进行边缘内容缓存,可以使车辆用户的数据都在本地训练从而降低车辆用户的隐私风险,降低通信成本,适应高度动态的车辆网络环境,其次,使用自动编码器模型预测内容流行度,每个车辆用户使用基于自动编码器的内容流行度预测算法从车辆用户历史请求内容和上下文信息学习数据中潜在的相关性,从而提高每个边缘设备的缓存性能,最后,使用dueling DQN强化学习算法来学习每个边缘设备中车辆用户的请求内容数据,基于自动编码器模型预测出来的内容流行度,dueling DQN可以做出最优的缓存决策,降低车辆平均请求时延和提高每个边缘设备的缓存性能。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
快速检测淀粉类样品中自由基相对含量的方法

本发明涉及一种快速检测淀粉类样品中自由基相对含量的方法,属于化学检测以及化学分析技术领域。本发明的目的是配置一种新的可用于检测淀粉类样品自由基相对含量的化学发光溶液,并以此溶液为基础,建立一种可快速检测淀粉类样品中自由基相对含量的方法。本发明提供的溶液所需的luminol、Na2CO3、hemin价格较低、易于获得、无毒无害,且配制方法简单,操作方便;本发明提供的方法使用的仪器设备价格较低、操作方便,方法本身测定灵敏度较高,能够快速检测淀粉类样品自由基相对含量。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
常压化学气相沉积机台异常监控方法及系统

一种常压化学气相沉积机台异常监控方法,包括以下步骤:对卸载传送器进行监测;获取处于异常位置的晶片位置状态信息;发出控制指令自动将所述处于异常位置的晶片拾取。同时还提供了一种常压化学气相沉积机台异常监控系统。上述常压化学气相沉积机台异常监控方法中,通过对卸载传送器进行监测,发现晶片处于异常位置后将其及时拾取,防止该晶片在继续传送过程中因位置异常而导致缺陷,同时该方法及系统可以实时监控机台传送系统的异常,而不需要对其进行定期保养,降低了成本。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
具有内衬保护系统的双层液相化学品储罐

本实用新型公开了一种具有内衬保护系统的双层液相化学品储罐,包括罐体、进出料装置和内衬保护系统,内衬保护系统包括分别与罐体相连通的压力侦测球阀、与压力侦测球阀相连的压力侦测探头、与罐体依次相连通的第一进气球阀、第一进气气动阀、与罐体相连通的第一出气气动阀、安装有控制系统的主机;第一进气气动阀通过管路与氮气气源连接,第一出气气动阀通过管路与废气洗涤塔连接;第一进气气动阀、第一出气气动阀和压力侦测探头均与控制系统主机电连接。该化学品储罐通过控制系统控制进出气,全管路自动连锁控制,压力监控精确,快速,节省人力成本,提高工作效率,防止生产事故的发生,提高了工作人员和设备的安全性。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
基于虹吸原理取样的化学品槽罐

本发明公开了一种基于虹吸原理取样的化学品槽罐,包括槽罐本体和取样装置,所述槽罐本体的前后端设有平面结构的封头,所述槽罐本体的顶端面沿表面纵向连接顶部平台,所述顶部平台上设有人孔盖,所述人孔盖上设有呼吸阀,所述顶部平台的前侧设有取样口,所述取样装置包括取样管、导出管、负压罐和采集罐,所述取样管的底端位于所述槽罐体本内部底面,所述取样管的底端设有开口并覆盖滤网,所述取样管上端导出所述槽罐本体并连接U形弯管,所述U形弯管一端连接所述导出管,所述导出管紧贴在所述槽罐本体的前端面上,所述导出管的下端连接所述负压罐。通过上述方式,本发明能够根据虹吸原理从化学品罐体内提取试剂样品进行检验。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
新能源汽车电极材料中磷化学镍镀层六价铬钝化工艺

本发明公开了一种新能源汽车电极材料中磷化学镍镀层六价铬钝化工艺,涉及电镀零件钝化技术领域,具体工艺流程为:(1)对零件进行超声波碳氢除油;(2)将零件吹干;(3)洗硫酸溶液预清洗零件;(4)水洗零件;(5)钝化配方组分A对零件进行钝化处理;(6)水洗零件;(7)热风烘干零件;(8)钝化配方组分B对零件进行钝化处理;(9)水洗零件;(10)将零件进行95℃热水封闭;(11)烘干零件;(12)待贴极耳胶加工处理;(13)检验包装。该新能源汽车电极材料中磷化学镍镀层六价铬钝化工艺,采用新研发的两种钝化处理溶液,结合钝化工艺,可达到目前行业极耳高端材料‑‑中磷化学镍钝化技术的行业领先水平。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
带太阳能光伏发电向化学传感器供电的肥水调控装置

本实用新型涉及一种带太阳能光伏发电向化学传感器供电的肥水调控装置,属于新能源物联网技术领域。阳光照射安装在光伏化学传感器插杆的顶端上的太阳能电池产生电流,电流通过导电线、控制器向化学传感器供电,化学传感器的下部浸泡在稻田水层中,感测水稻田施用氮素化肥和磷素化肥后的浓度变化,并将化学量的变化转换为电信号,安装在化学传感器上的发射天线将电信号发送到空中,接收天线接收到电信号后,将电信号输入计算机处理器进行处理,根据稻田水层里实际溶解的氮素化肥和磷素化肥的浓度结合水稻植株的生长发育情况,在显示器上显示出精准的氮素化肥和磷素化肥的施肥量,并打印出施用化肥的意见,交给稻田管理人员去实施。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
污水处理厂臭气处理系统的干式化学吸附装置

本实用新型属于污水处理厂配件应用技术领域,具体公开了污水处理厂臭气处理系统的干式化学吸附装置,由底板、塔体、出气口、出气口连接法兰、三个第一检修人孔、第二检修人孔、第一装料口、第二装料口、第一卸料口、第二卸料口、第一进气口、第二进气口、第一吸附组件和第二吸附组件等组成。本实用新型的污水处理厂臭气处理系统的干式化学吸附装置的有益效果在于:其设计结构合理,用以解决现有污水处理厂污水处理过程中所存在的发酵臭气,同时双层吸附部件(第一吸附组件、第二吸附组件)处理效率高、过滤效率优、占地面积小,且单位面积内产生气量大,处理过程安全、稳定、可靠,既降低了成本,又提高了工作效率(可间歇性运行),实用性强。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
具有自动液位监控装置的化学品储罐

本实用新型公开了一种具有自动液位监控装置的化学品储罐,包括罐体、进出料装置和液位监控装置,液位监控装置包括与罐体相连通的液位计和设置在液位计上的低液位侦测探头与高液位侦测探头;罐体的气相出入口分别经进气、排气自动阀连接至槽车,罐体的液相出入口分别经入料、出料自动阀连接至槽车;高低液位侦测探头、进气自动阀、排气自动阀、入料自动阀和出料自动阀均与控制系统主机电连接。该化学品储罐通过液位侦测探头与控制系统连接,全管路自动连锁控制,液位监控精确,快速,实现化学品储罐内液位的监控警示和防止化学品储罐卸料时物料溢出,节省人力成本,提高工作效率,防止生产事故的发生,提高了工作人员和设备的安全性。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
用于化学气相沉积装置的防跳电结构

本发明涉及一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构,所述化学气相沉积装置包括控制单元与通过RF接地导线接地的加热部件,所述加热部件与交流回路相连,所述控制单元具有内连锁回路,所述交流回路上配置有热感应器,该热感应器还与所述内连锁回路相连,RF信号在所述RF接地导线断路后进入所述交流回路并引起所述交流回路的温度变化,所述热感应器根据该温度变化控制所述内联锁回路的通断。本发明采用热感应器来感应RF接地导线异常时交流回路导线产生的热信号,并通过内联锁回路控制化学气相沉积装置,结构简单,可以及时发现RF接地导线故障;采用本发明可以简化化学气相沉积装置的保养检修流程,降低生产成本,提高保养效率。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
孔结构化学机械研磨方法及半导体器件的制造方法

本发明涉及一种孔结构化学机械研磨方法及半导体器件的制造方法,所述孔结构化学机械研磨方法包括:获取形成有孔结构的半导体结构,所述半导体结构上形成有孔填充金属,所述半导体结构包括所述孔填充金属下的阻挡层和所述阻挡层下的氧化层,所述孔填充金属填入所述孔结构中;对所述孔填充金属进行第一化学机械研磨,以终止点监测的方式设定第一信号窗口,将研磨终止点设定在所述孔填充金属与所述阻挡层的过渡界面;在所述第一化学机械研磨之后进行第二化学机械研磨,去除所述阻挡层,以终止点监测的方式设定第二信号窗口,将研磨终止点设定在所述阻挡层与所述氧化层的过渡界面。本发明能够降低第一电介质层的厚度和均匀性受外界因素影响的波动。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
化学腐蚀硅通孔面过电镀铜层的装置及方法

本发明提供了一种化学腐蚀硅通孔面过电镀铜层的装置及方法,所述装置包括:在铜腐蚀槽内设有一测距传感器用于测量槽内液位,铜腐蚀槽的底部设有腐蚀液的进口和出口,分别安装进口阀门和出口阀门;还包括用于把持晶圆片的机械臂杆,用于将TSV电镀后的晶圆片表面浸入铜腐蚀槽内的腐蚀液中;所述测距传感器、进口阀门、出口阀门和机械臂杆的控制器均连接到总的控制器或计算机。本发明的优点是:本发明基于化学腐蚀铜和CMP工艺结合去除表面过厚铜层的思想,设计了一种化学湿法刻蚀铜的简易装置。可有效解决TSV过电镀的问题,采用先湿法腐蚀铜的方法,除去多数铜,为CMP铜工艺减轻负担,降低成本。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
电化学腐蚀样品的制备方法

本发明涉及一种电化学腐蚀样品的制备方法,其特征是,包括以下步骤:(1)在被测试样品被测试面的背面制作一个槽体;(2)将导线端部除去一段橡胶被皮,把露出的铜质导线部分置于槽体中,将被测试样品和铜质导线压紧,让铜质导线压入槽体中,从而实现导线与被测试样品的可靠连接;(3)将被测试样品和被压入以及裸露的铜质导线部分镶嵌在环氧树脂胶中固化,将被测试样品的非测试面进行封闭,只留出被测试样品上槽体所在面的背面部分作为测试面用于电化学测试。本发明所述电化学腐蚀样品的制备方法,采用将铜质导线压入槽体中的方式,从而实现导线和被测试样品的可靠连接。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
评价油脂氧化稳定性的电化学方法

本发明涉及一种评价油脂氧化稳定性的电化学方法。在线电还原石墨烯制备了石墨烯修饰电极,将待测油脂用支持电解质溶液稀释,将稀释液加入电解池中,组成三电极系统(工作电极为石墨烯修饰电极、对电极为铂片电极、参比电极为饱和甘汞电极)。选择合适的工作电压,通过计时电流法测量并记录油脂氧化过程中氧化峰电流的变化,通过双切线法对峰电流-时间曲线作双切线,交点所对应的时间即为油脂的氧化稳定时间。本发明利用计时电流法,在线电还原制备的石墨烯修饰玻碳电极可快速准确地测量油脂氧化过程中氧化峰电流的变化,从而建立了一种简便、灵敏和准确地评价油脂氧化稳定性的电化学方法。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
在无标准样时非发酵杨梅加工品是否掺假的检测方法

一种在无标准样时非发酵杨梅加工品是否掺假的检测方法,属于食品质量检测技术领域。本发明针对没有标准样品矢车菊色素-3-葡萄糖苷的情况,联合化学分析方法(差异pH法)与高效液相色谱-光电二极管阵列-质谱方法(HPLC-DAD-MS)和气相色谱法(GC)对非发酵杨梅加工品中的花色苷进行定性和定量分析:差异pH法定量分析测定加工品中花色苷含量,以确定是否含有除杨梅以外的无色物质;HPLC-DAD-MS和GC用于定性分析以确定是否含有除杨梅以外的有色物质。只有两者都与未掺假的杨梅产品一致才为真,否则有掺假。本发明采用了常规化学分析方法与高效液相色谱-质谱方法和气相色谱法联合的新技术,具有检查程序相对较少,时间短、结果准确的特点。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
等离子化学气相沉积机台异常监控方法及系统

一种等离子化学气相沉积机台异常监控方法,包括以下步骤:对腔体间的活动门阀进行监测;获取晶片掉落至活动门阀口的信息;发出控制指令暂停所述活动门阀闭合动作。上述等离子化学气相沉积机台异常监控方法中,通过对腔体间的活动门阀进行监测,实时监测晶片是否掉落至活动门阀口,一旦出现晶片掉落的情况,则发出控制指令暂停活动门阀的闭合动作,有效防止等离子化学气相沉积机台中因腔体间传送系统异常而造成的晶片破损。同时,还提供了一种等离子化学气相沉积机台异常监控系统。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
在接箍丝扣表面生成化学元素共渗层的加工方法

本发明涉及一种在接箍丝扣表面生成化学元素共渗层的加工方法,属于石油开发用金属杆管的加工领域。其技术方案是:在常规的加工方法,即对接箍进行车丝扣(螺纹加工)、检验、标记、试压等步骤中,增加对所车丝扣表面进行化学元素共渗的步骤。所述方案中接箍丝扣由于经化学元素共渗处理后,丝扣表层生成20-300微米厚度的化学元素共渗层,丝扣表面光洁,化学元素共渗层的维氏硬度HV:600-800。能达到耐磨、无脆性、抗粘结,全面提高了传统接箍上扣和卸扣的使用次数,有利于油田的油套管重复使用次数,节约开采成本。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
化学气相淀积反应腔中漏率的监控方法

本发明涉及一种化学气相淀积反应腔中漏率的监控方法,将自动测漏步骤加入到化学气相淀积跑片过程的氢氟酸清洗步骤中。采用该方法进行化学气相淀积反应腔中漏率的监测,可以做到实时监测,减少在机台异常情况下制造产品的状况发生,一旦有问题可以报警并及时解决;并且将漏率监测植入到正常的产品制造流程之中,对机台的可服务时间没有影响;同时,采用此方法,在机台做完漏率监测步骤之后可以直接执行后续的开启等离子体等步骤,可以避免手动测漏,机台反应腔降温而死机。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
可防盗的户外危险化学品暂存柜

本实用新型提供了一种可防盗的户外危险化学品暂存柜,其能够监控暂存柜周边环境,自动报警,达到防盗的功能,其包括柜体,所述柜体内设有控制箱,所述控制箱内包括控制系统,其特征在于:所述柜体四个顶角上分别设有红外传感器,四个所述红外传感器的检测范围之和包含柜体的整个外围,所述红外传感器与控制箱电性相连,所述柜体还包括声光报警器,所述声光报警器与控制器电性相连。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
化学品船水下排放管的双相不锈钢管道的焊接工艺

本发明公开了一种化学品船水下排放管的双相不锈钢管道的焊接工艺,包括焊件对接、焊接和焊后检测步骤,其中焊接采用手工钨极氩弧焊以管道圆周方向为焊接方向进行分段式焊接;采用直径2.4mm的SMT‑2594焊丝,焊接电流为55‑65A,电压为9.5‑10.5V,焊接速度为3.36‑4.44cm/min;焊枪内通入98%氩气+2%氮气的混合保护气体,保护气体的流量为10‑15L/min;进行焊缝打底层焊接时,焊枪在坡口两侧之间沿管道轴向方向横向摆动的移动方式进行打底层的焊接。本发明通过对焊接接头坡口的选定、对焊接参数的控制、层间温度的控制,减缓了焊缝温度下降速率,延长了焊缝及高温热影响区中铁素体向奥氏体的相变时间,使奥氏体和铁素体的两相比例趋近于1:1,提高了焊缝的质量和耐腐蚀性能。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
化学气相沉积设备进出水监控装置

本实用新型是化学气相沉积设备进出水监控装置,其结构是主进水管和主出水管上端分别由底板下方穿过底板延伸至上方,主进水管上端连通进水支管的一端,主出水管上端连通出水支管的一端,靠近进水支管另一端的进水支管上设有球阀,靠近出水支管另一端的出水支管上设有SMC流量控制装置。本实用新型的优点:为每个工艺腔单独的出水管分别配备SMC流量控制装置,实现了对每个工艺腔内冷却水出水的压力、温度、流量等的精密实时可视化监控,实现更好的数据采集和分析,提高产品良率;为每个工艺腔单独的进水管分别配备球阀,实现了对每个工艺腔内冷却水进水的单独开闭,方便单独保养工艺腔或处理冷却水问题,节约了耗时和人力。

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化学分析
江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
电化学一氧化碳传感器
电化学一氧化碳传感器 1155     
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本发明公开了一种电化学一氧化碳传感器,包括外壳、导电连接层以及气体催化膜电极组件,导电连接层设置在外壳内的底部,气体催化膜电极组件设置在导电连接层上,气体催化膜电极组件自上而下由导电进气帽及其内设置的气体过滤单元、紧贴气体过滤单元下端设置的电极连接片、紧贴电极连接片下端设置的催化电极片组成,电极连接片上设置有气体导向孔,气体导向孔上设置有电流输送层,导电连接层和气体催化膜电极组件一起嵌入带有凹槽的密封圈中,并整体设置在所述外壳内形成传感器。本发明结构更紧凑、携带更方便、检测精度高、成本低、输出稳定及使用范围广。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
化学品/油船的永磁电机交替推进系统

本发明公开了化学品/油船的永磁电机交替推进系统,包括主发电机组、主配电板、变频器、永磁电机、主机、离合器、配油器、CPP螺旋桨,主配电板正向电能输入端与主发电机组电连接,主配电板正向电能输出端与变频器正向电能输入端电连接,变频器正向电能输出端与永磁电机的正向电能输入端电连接,永磁电机反向电能输出端与变频器反向电能输入端电连接,变频器反向电能输出端与主配电板反向电能输入端电连接,永磁电机的动力输入轴通过离合器与主机连接,永磁电机的动力输出轴通过配油器与CPP螺旋桨连接,交替推进系统还包括用于监测主机运行状态的检测装置。该系统结构简单、操作方便、工作效率高、安全性好、设备投入和运营成本均较低。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
石墨烯修饰电化学传感器电极的制备方法

本发明涉及一种石墨烯修饰电化学传感器电极的制备方法,其制作步骤为:(1)首先制备石墨烯(GO)水溶液;(2)制备纯的玻璃碳(GC)电极;(3)将石墨烯(GO)的溶液滴到玻璃碳(GC)电极的表面,然后将电极在室温下干燥得到氧化石墨烯修饰的玻璃碳电极,标记为GO/GC电极;(4)将GO/GC电极浸入到10mmol/L的pH值为5的磷酸缓冲液中进行电势扫描,制备经石墨烯修饰的电极;因石墨烯电极对NO的电化学还原有非常高的活性,亚硝酸根离子(NO2-)以及其它一些生物物质的干扰效应基本上可以忽略因为Nafion膜的存在,所以制备的电极对NO有非常快速的响应,并且灵敏度高,稳定性好,可以被应用来检测汗氮的氧化物。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
基于聚苯胺纳米纤维的电化学传感器的制备方法

本发明涉及一种基于聚苯胺纳米纤维的电化学传感器的制备方法,其制作步骤为:首先先制备聚苯胺纳米纤维,然后纯化的聚苯胺纳米纤维在超声震荡下分散到去离子水中形成绿色的悬浮液,往玻璃碳电极表面涂覆10μL的聚苯胺纳米纤维的水溶液然后干燥得到修饰的电极,从而制备基于聚苯胺纳米纤维的电化学传感器,本发明制备的传感器对亚硝酸根离子的还原表现出非常强的电催化活性,并且具有高的灵敏度、宽的线性范围、低的检测限和好的稳定性;另外,基于纳米纤维的传感器为监控抗坏血酸和亚硝酸根离子之间的反应过程提供了一条新的途径。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
痢疾志贺氏菌10型O-抗原寡糖的化学合成方法

本发明公开了一种痢疾志贺氏菌10型O‑抗原寡糖的化学合成方法,属于化学技术领域。本发明以简单单糖为原料,制备得到四个单糖砌块1,2,3,4,并配合设计了由11个反应模块组成的合成路线,通过糖基化策略优选,保护基团优化,高效制备目标寡糖。本发明提供的合成寡糖制备糖芯片后,已成功应用于痢疾志贺氏菌抗血清的检测。本发明制备的寡糖原料廉价易得、制备方法简单易重复,将在痢疾志贺氏菌的新型药物和疫苗开发等方面具有良好的应用前景。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
高通量的光电化学酪氨酸酶传感器

酪氨酸酶催化氧化酚类化合物产生的醌类化合物可以通过醌氨反应共价键合到沉积了壳聚糖的PbS量子点修饰的光电极表面,这些醌类化合物作为电子受体大大抑制了PbS量子点的光生电子‑空穴的复合,从而使阴极光电流大大提高。利用这一原理构建了针对酪氨酸酶活性检测的光电化学酶传感器。此传感器不仅具备光电阴极的高选择性,同时,也具有无需将酶固定、高通量、高灵敏的优势。为阴极光电化学酶传感器的研制提供了新策略。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
快捷测定水中MC-RR的量子点荧光检测方法

本发明涉及一种快捷测定水中微囊藻毒素-RR(MC-RR)的量子点荧光检测方法,属于分析化学检测领域。该方法利用EDC和NHS活化水溶性核壳式CdSe/CdS量子点(QDs)使之与MC-RR单克隆抗体进行共价连接,形成QDs-MC-RR生物共轭体。在优化后的反应条件下,将不同浓度的MC-RR加入到生物共轭体中,发生荧光猝灭现象,荧光猝灭程度与MC-RR的浓度呈一定相关。该方法快捷、廉价、简便且高灵敏度,可直接应用于水中MC-RR的测定。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
延长研磨垫使用周期的化学机械研磨方法

本发明提供一种延长研磨垫使用周期的化学机械研磨(CMP)方法,属于半导体制造技术领域。该CMP方法包括第一CMP阶段和第二CMP阶段,在第二CMP阶段应用光学终止点检测装置时存在终止点抓取的准备时间段(tp2);其中,在第二CMP阶段的研磨前准备步骤设置为通过时间控制和终止点检测控制结合的模式,以准备时间段(tp2)从第二CMP阶段的主研磨步骤中前移至所述研磨前准备步骤中;并且,延长第一CMP阶段的主研磨步骤的时间(tp1),以使在该延长的时间(tp1)内的研磨厚度基本等于第二CMP阶段的主研磨在该准备时间段内(tp2)的研磨厚度。该CMP方法容易与现有CMP制程兼容,效率高。

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江苏 - 无锡 来源:北方有色网 2023-03-19
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