本实用新型是化学气相沉积设备进出水监控装置，其结构是主进水管和主出水管上端分别由底板下方穿过底板延伸至上方，主进水管上端连通进水支管的一端，主出水管上端连通出水支管的一端，靠近进水支管另一端的进水支管上设有球阀，靠近出水支管另一端的出水支管上设有SMC流量控制装置。本实用新型的优点：为每个工艺腔单独的出水管分别配备SMC流量控制装置，实现了对每个工艺腔内冷却水出水的压力、温度、流量等的精密实时可视化监控，实现更好的数据采集和分析，提高产品良率；为每个工艺腔单独的进水管分别配备球阀，实现了对每个工艺腔内冷却水进水的单独开闭，方便单独保养工艺腔或处理冷却水问题，节约了耗时和人力。
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来源：北方有色网
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