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本发明提供一种电化学抛光金属互连晶圆结构的方法，包括：步骤一，电化学抛光晶圆产品中的部分晶圆，获取抛光一合格晶圆所需的平均时间T0，步骤二，测量晶圆产品中任一晶圆O的厚度前置D0，并与前值目标值D比对；步骤三，对晶圆O进行电化学抛光；步骤四，清洗晶圆O；步骤五，测量晶圆O的厚度后值D1；步骤六，判断晶圆O的厚度后值D1是否满足后值目标值D’的要求，将晶圆O返工或送入后续CMP模块；其中，抛光晶圆O所需的时间T＝T0+[(D0-D)/(K*RR)]*60，RR为抛光速率，K为常系数，其中抛光速率RR随着抛光晶圆产品的批次数的增加而变缓，常系数K由晶圆产品的形貌决定。本发明的方法易于实行且效果明显，能够大幅度提高抛光晶圆产品的良率。
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本发明的一种镁锂合金多层化学镀镍处理方法，包括如下步骤：镀前验收→有机溶剂除油→化学除油→热水洗→冷水洗→酸洗→回收→冷水洗→一次活化→冷水洗→退活化膜→冷水洗→二次活化→预镀化学镀镍→回收→冷水洗→焦磷酸盐镀铜→回收→冷水洗→化学镀镍→回收→冷水洗→封闭→冷水洗→热纯水洗→吹干→热处理老化→检验→包装→入库或转下道工序，该方法采用独创的酸洗配方以及两次活化，提高了镀层的结合力；采用分散能力好的焦磷酸盐镀铜，镀铜层厚度均匀、孔隙率少，提高了镀层的耐蚀性能；采用多层镀层体系，保证了镀层的结合力、镀层的导电性能，同时大幅提高了产品的耐蚀性能。
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本实用新型属于光化学传感器技术领域，主要为一种用于光化学传感器的光电收发装置。本实用新型的光电收发装置包括：留有光电探测器大小圆孔的印刷电路板、带滤光片的贴片光电探测器、贴片发光二极管、特种多孔光纤、光化学薄膜。印刷电路板正面围绕圆孔一周放置发光二极管；背面正对圆孔放置带有滤光片的光电探测器，可以通过圆孔探测光强。上述结构可节约印刷电路板的面积，实现系统小型化；同时多孔光纤可同时收集多个发光二极管所发出的光，提高了光的利用率。本实用新型可用于探测被测环境中某些物理量大小、化学物质的成分以及占比等。
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本实用新型公开了一种化学品存储装置，包括底座和柜体，所述柜体的中部设置有隔层，所述隔层的一侧边中部设置有隔板，所述隔板与所述隔层将所述柜体内部区分为两小一大的三个化学品存放区，且所述化学品存放区的底部均设置有放置板，所述化学品存放区的两侧边均设置有耐腐蚀板，所述耐腐蚀板远离所述化学品存放区的一侧均设置有防火板，且所述防火板与所述耐腐蚀板之间均设置有真空夹层，所述隔层的内部设置有监测器，所述隔层内部且与所述化学品存放区相对应的位置均设置有传感器，所述隔层内部且位于所述监测器的上方设置有锁紧器，所述隔层的外侧设置有解锁器与显示面板，且所述解锁器与所述锁紧器连接，所述显示面板与所述监测器连接。
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本发明公开了一种危险化学品禁忌智能识别和决策支持方法,包括了一个具备在线升级机制的危险化学品信息库,可以根据联合国最新的危险品资料进行实时信息更新;包括了一个基于政府安全生产监督管理的禁忌智能识别系统,适用于政府监督部门的执法检查和企业自检;并根据实际需求,构建了基于上述系统的应用方法。通过提供一套具体方法,解决了危险化学品信息库应该如何应用于安全生产监督管理实践的问题。该方法具有操作简单、功能强大、使用性好的特点,同时国内查新未见相关报导,具有新颖性和先进性的优点。
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本发明提供了基于电化学模型的电池荷电状态的估算方法及装置，包括：对电池建立电化学模型；设置电池的当前荷电状态SOC的初始值，根据SOC的初始值确定电化学模型中固相锂离子浓度的初始分布；对电池进行充/放电测试，采集电池的实测电压和实测电流；根据实测电流和固相锂离子浓度的初始分布，计算电化学模型在当前采集时刻的输出电压和固相锂离子浓度分布；若输出电压与实测电压之间的电压差在预设范围内，则根据当前采集时刻的固相锂离子浓度分布估算电池的当前SOC值。本发明提供的SOC估算方法不依赖SOC初始值的准确度，可在线使用，准确度高。
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本发明公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置，用于清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；本发明还公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法，包括以下步骤：S1系统自检；S2片盒清洗；S3片盒冲洗；S4片盒烘干。
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本发明提供了一种电池内部关键电化学老化参数的在线辨识方法及系统，包括：步骤S1：基于电池电化学机理以及多孔电极理论，通过对电池内部固液两相之间的电荷守恒、质量守恒偏微分方程求解，建立电池电化学模型；步骤S2：基于电池电化学模型，建立以电池老化参数为状态变量的状态观测器；步骤S3：通过状态观测器，基于电池电流以及电压对预设可观测的电池关键电化学老化参数进行在线辨识。本发明可以在线基于电池的电流，电压等测量信号，对电池内部的电化学关键老化参数进行估计。
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本发明公开了一种实现化学机械研磨过程中抛光液温度控制的系统，包括第一温度探测器、第二温度探测器、第三温度探测器、保温套、温度控制器和主控制器，第一温度探测器和第二温度探测器分别设于抛光液存放容器内和抛光液存放容器的输出端，保温套包裹在抛光液存放容器输出端连接的输出管道的外表面，第三温度探测器设在研磨垫附近，温度控制器设在抛光液存放容器供给端，第一温度探测器、第二温度探测器、第三温度探测器和温度控制器分别与主控制器连接。本发明实现化学机械研磨过程中抛光液温度控制的系统实现了晶圆在化学机械研磨过程中的温度控制，提高了晶圆的产出率和稳定性。
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本实用新型涉及一种燃气机组化学在线取样仪表的维护系统，包括水源、取水管路、控制器、驱动系统和进水开关；水源的水质在化学在线取样仪表的测量上下限范围内；取水管路作为旁路连接至化学在线取样仪表所在的测量管路，用于连通水源和测量管路；进水开关设置在取水管路上，用于通断取水管路；驱动系统与进水开关连接，用于打开或关闭进水开关，驱动系统与控制器通信连接。与现有技术相比，取水管路连接水源，作为旁路连接至测量管路，在机组停机时，能够保证测量管路不断水，化学在线取样仪表一直在有水环境中工作，避免了化学在线取样仪表随机组开停机而频繁通电断电，工作人员减少了仪表校正周期和保养工作，工作量大大降低。
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本发明公开了一种基于全要素管理的危险化学品汽车运输安全监控系统，通过驾驶人全息管理单元针对驾驶人进行多重身份核验以及多维度驾驶人状态监测，并根据身份核验和/或状态监测结果与车辆控制实现联动；通过车辆自身安全监测单元自动监测车辆自身安全状态，并根据监测结果形成预警报警信息；通过车载危险化学品安全监测单元对承运过程中的车载危险化学品的理化安全性参数以及车载危险化学品防盗抢监测信息进行全面监测，并根据监测结果形成预警报警信息。本系统能够针对承运过程中的车载危险化学品进行人、车、物进行全面的实时监控与风险预警，此来保证危险化学品的运输安全性。
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本发明一种基于深度学习与强化学习的室内声学行为识别方法，涉及室内声学行为识别技术领域。本发明包括A通过终端声音传感器实时获取室内原始声音数据，并将其转换成不包含隐私的特征数据；B将特征数据中包含的用户行为作为标签和特征数据，输入到深度强化学习网络中训练；C在训练过程中，每次提供一定批次的特征数据给深度强化学习网络，并由深度强化学习网络进行预测，根据其预测结果，动态决定下一批次所提供的各分类特征数据的比例及回报值R的值；D根据深度强化学习网络对上一批次的各个分类进行预测的错误率，决定是否停止训练等步骤。本发明在只使用不平衡数据集作训练深度强化学习网络的情况下，极大提高深度强化学习网络预测准确率。
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本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中研磨液配比及供应储存使用；化学品定容器的材质为聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蚀、耐压的特性，主要用于化学品中转储存和定容定量，然后再经氮气驱动化学品供应到化学研磨液混合供应装置中混合配比；压力监测表用于氮气输入和化学品定容器的压力监测，本实用新型解决了化学研磨液的调配过程中化学品注入容量不精确，流速不稳定的问题。
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根据本发明的识别化学机械研磨设备的研磨性能的方法包括：为研磨垫提供U型细磨垫；使修整部件仅仅沿固定修整方向在所述U型细磨垫上进行修整；测试U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度；以及根据U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度判断化学机械研磨设备的研磨性能。所述测试U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度的步骤包括：在所述U型细磨垫的弯曲部分上放置测量重块，该测量重块W的重量已知；测量所述U型细磨垫的弯曲部分的长度、以及所述U型细磨垫由于所述测量重块的重量而下压的深度；以及根据所述长度以及所述深度计算U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度。
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本发明涉及一种基于RFID的化学危险品的物流仓储管控方法，该方法包括在全国公路网中实现点到点的运输路线的统一和唯一；给合格人员发放运输员身份卡；运输前化学危险品的信息卡要通过移动式读写器完成发卡操作；运输车辆配备的移动式读写器辅助行车路线导航；运输路线中设置化学危险品自动检查站；化学危险品运输到达专用仓库，化学危险品信息卡完成入库操作；仓库配备的自动移动式读写器可以定期盘点所有的化学危险品，并报备给区域对应的管控平台。其优点表现在：提高化学危险品在运输和贮存的过程中的安全性。建立一个专门的化学危险品物流仓储管控平台，集中化管理；化学危险品运输路线要实现统一化。
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本发明提供了一种化学机械研磨设备工艺能力的监控方法，在所述晶圆的边缘上形成多个测试区域，然后在每个所述测试区域中形成沿着所述测试区域长度方向排布的金属线，对所述晶圆进行化学机械研磨工艺后，所述金属线的厚度也会随之改变，获取每个所述金属线的电阻分布图，由于所述金属线的截面宽度处处相等，所述金属线的电阻仅与所述金属线的厚度相关，可以根据所述电阻分布图可以反馈出所述化学机械研磨设备工艺能力的好坏，实现在线监控所述化学机械研磨设备工艺能力，当所述化学机械研磨设备工艺能力不满足控制要求时，可以及时的调整化学机械研磨设备的工艺参数，防止批量性不良品的产生，提高了晶圆的良率，从而降低了制造成本。
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本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。
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本发明公开了一种用于动态调整化学机械抛光速率的方法,包括下列步骤:收集特定历史时间段内的抛光数据,所述数据包括该时间段内多次测量的线下抛光速率,以及该时间段开始时的抛光速率结束时的抛光速率;根据这些历史数据计算每次抛光的抛光厚度调整量,从而将化学机械抛光设备中损耗部件的损耗情况进行评估并及时反馈,从而及时调整化学机械抛光设备的抛光速率,以便使得化学机械抛光设备可以始终以恒定的抛光速率进行工作,从而减小停机维护的频率,提高工作效率。
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本实用新型揭示了一种用于化学品存储罐的液位计,所述液位计包括浮球以及浮杆,所述浮球设置于所述化学品存储罐内,所述浮杆的一端与所述浮球固定连接,所述浮杆的另一端自由伸出到所述化学品存储罐外,所述浮杆表面划分为若干段,其中每一段具有一种或多种颜色,通过所述颜色来判断存储在所述化学品存储罐内的化学品的液位。本实用新型结构简单,成本低廉,可为操作人员检查液位提供便利,并可确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。
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本发明涉及一种化学品更换智能防呆系统，包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，推车组合柜包括若干化学品储存分柜，推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏。本发明防呆方法包括取品、换品、回收等步骤。本发明采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息的正确性，具有更换化学品智能防呆的特点。
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本申请提供的一种基于强化学习的WSN抗干扰方法、装置、设备和介质，通过预设初始跳频序列；初始化预设神经网络模型中的权重和偏置，并定义强化学习方法的参数；令待测WSN网络中所有节点依据所述初始跳频序列以测试数据进行发送或接收，并获取对应各所述节点传输情况的观察值；依据观察值采用随机梯度下降法、及反向传递放算法更新权重和参数、及参数，据以调整初始跳频序列并重复上一步骤，直至获得稳定的对应待测WSN网络的最终跳频序列。本申请能够针对无线传感网中节点的受干扰情况，逐渐学习到最佳的跳频序列以用于避开环境中干扰较强的信道，达到抗干扰的效果，同时可以将源节点的信息用尽量少的时间传递到目的节点，同时保证传输的可靠性。
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本发明公开了一种自动调节化学机械抛光设备硅片研磨压力的方法,使用化学机械抛光设备对硅片研磨,在该化学机械抛光设备的HCLU内加装压力感应传感器,然后循环执行以下步骤:在该化学机械抛光设备上安装新的固定环,重新设定固定环厚度值,将研磨头转到HCLU正上方,测量新的固定环上的压力值并自动记录,化学机械抛光设备开始研磨作业,当研磨头转到HCLU时,在卸下硅片的同时测量固定环的厚度,根据该厚度差计算研磨时的压力补偿值并进行调整,当固定环的厚度变薄时,应当适当调低对固定环的压力,使硅片周边的研磨速率保持不变,再进行下一次硅片研磨作业。本发明可调整研磨时RETAINER RING的压力输出,提高了CMP工艺的硅片周边的残膜厚度的稳定性。
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本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法，系统包括：供应槽；化学品输入管路，用于向供应槽输入化学品，其设有开关控制阀；液位侦测器，用于在侦测到化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；重量侦测器，用于在侦测到化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；供应管路，用于将化学品供应至机台。本发明的易挥发液态化学品供应系统具有双重安全保障，只要液位侦测器和重量侦测器的其中一路控制信号正常，即可保证化学品及时切断供应，极大的降低了安全风险。本发明的重量侦测器校正方便、更换简单，可大大缩短机台停用时间。
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本发明涉及一种通过画分子结构式图查询化学品信息的方法,用户将化学品分子结构图画在指定网页编辑区域;该图像通过互联网传送到查询服务器,由查询软件解析分子结构图像代码;并按分子结构图像代码从化学品数据库中检索出相关信息;由服务器将查询结果以网页形式返回到用户电脑上;本发明的有益效果是:提供一种高效、准确的查询化学品信息的方法,化学工作人员通过在网页中画分子结构式图查询的方式查询所需的化学品信息,以此协助化学品的生产、储存、流通环节的安全。
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本发明涉及一种用于化学药品间的出入库管理方法、系统、设备和介质，所述方法包括以下步骤：S1：识别出入库请求人的身份信息，获取并判断出入库请求的类型；S2：获取入库化学品的信息，并生成入库化学品的化学品信息标签，对入库化学品进行入库操作；S3：根据出库请求信息获取出库化学品信息，对出库化学品进行出库操作；S4：根据归还请求获取归还化学品信息，对归还化学品进行归还操作；S5：定时进行库存检查，进行归还、采购、报废提醒。与现有技术相比，本发明能够对化学品的库存、出入库进行管理和记录，全程系统自动化，效率高，盘点化学品的频率可大大降低，保护化学工作人员的身体健康。
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本发明属于环境监测或化学分析技术领域,是将电化学提取技术与光谱分析技术结合起来使用的一种水中重金属离子的现场快速检测方法,它主要包括以下步骤:(1)金属离子的电化学富集;(2)富集金属的电化学溶出;(3)金属离子显色分析:①选择显色剂;②确定显色条件;③绘制标准吸收曲线;(4)测定重金属离子的种类和浓度。本发明的积极效果是:克服了常规电化学法对氧化还原电位相近的金属离子难以区分的不足;避免了污染水体中较高的浊色度等复杂因素对分光光度测定结果的影响;测定结果的稳定性高、重复性好,可方便实现污染物样中重金属离子的便携化或在线式现场快速检测分析,检测灵敏度可达0.1ppm以下。
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本发明属环保技术领域,具体涉及化学生物絮凝污水处理工艺的自动控制方法及其装置。本发明利用PC机对化学生物处理城市污水装置的工作过程进行在线监测和控制,其中,PC机中的可编程序控制器用于执行系统操作指令,收集、存储系统工艺参数和在线监测数据。本发明的具体实施过程采用以出水总磷作为控制目标,自动调节化学絮凝工艺的加药量;采用DO在线监测系统反馈信号自动控制曝气量;采用总悬浮固体在线监测信号自动控制污泥回流量,从而达到去除化学需氧量、悬浮固体、生化需氧量等污染物的目的,使运行成本大大减少;同时在系统运行过程中还可随时观察、存贮在线监测数据,工艺先进、操作简单、劳动强度低。
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一种化学结构辅助标引系统，包括：化学结构特征提取模块、定义模块、关联模块和存储模块，所述化学结构特征提取模块用于从输入的文献提取化学结构特征；所述定义模块根据所述化学结构特征提取模块提取的所述化学结构特征，定义基本单元以及所述基本单元与所述化学结构特征的连接位置；所述关联模块将所述化学结构特征提取模块提取的所述化学结构特征以及所述定义模块定义的基本单元和连接位置与所述存储模块中存储的数据进行关联，从而完成收集和标引工作。通过本发明的化学结构辅助标引系统，能够提高检索效率、增加检索便利性、降低标引成本。
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本实用新型公开了一种化学发光法EMSA试剂盒，所述盒体采用硬质塑料材料制成，盒体前侧设有抽屉，所述盒体内安放有硬质塑料泡沫制成的试剂衬垫，所述试剂衬垫上两端分别开有凹槽A和凹槽B，凹槽A用于存放结合缓冲液、无色上样缓冲液、蓝色上样缓冲液、Streptavidin-HRP?Conjugate，凹槽B用于存放封闭液、洗涤液、检测平衡液。本实用新型使用快速方便、应用范围广，试剂衬垫采用斜坡设计，不会遮挡试剂瓶上的文字，极大地缩短了挑选试剂的时间，同时试剂瓶身陷入盒体内部，有效的解决了试剂必须避光保存的问题。
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本实用新型属于石墨烯材料技术领域，具体涉及一种用于制备氧化石墨烯的规模化电化学剥离装置。该装置包括电源、信号发生器、功率放大器、示波器、电动搅拌器、电极支架、端子板及其接线端子、石墨电极和电解槽；其中，信号发生器连接电源，输出正弦波、脉冲波或锯齿形波信号，该信号输入到功率放大器中，将该信号放大到具有一定电压的电信号，放大后的电信号由功率放大器的输出端输出；该输出电信号的频率和波形由示波器检测，电极支架内的石墨电极通过导线连接到端子板上对应的接线端子上；电极支架置于电解槽的中间。本装置加工和搭建容易，操作简单，价格低廉，运行安全、环保，同时能对氧化石墨溶液规模化剥离。
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