本发明公开了一种用于动态调整化学机械抛光速率的方法,包括下列步骤:收集特定历史时间段内的抛光数据,所述数据包括该时间段内多次测量的线下抛光速率,以及该时间段开始时的抛光速率结束时的抛光速率;根据这些历史数据计算每次抛光的抛光厚度调整量,从而将化学机械抛光设备中损耗部件的损耗情况进行评估并及时反馈,从而及时调整化学机械抛光设备的抛光速率,以便使得化学机械抛光设备可以始终以恒定的抛光速率进行工作,从而减小停机维护的频率,提高工作效率。
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来源：北方有色网
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