本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到
芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。
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来源：北方有色网
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