设备介绍
自动压力控制CVD管式炉是郑州科佳生产的一款CVD化学气相沉积设备，型号为KJ-1200T，该设备最高工作温度为1100℃，配备
真空泵，气体混合装置。控温系统采用PID方式调节，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，有非常好的隔热效果和温度均匀性。主要用于
稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等工业真空烧结、保护气氛烧结、CVD实验、真空沉积、材料成分测定等场合。
产品优势
自动压力调节系统
配置触摸屏PLC控制器，可根据需求将压力调节为 50-300torr
多重安全防护功能
有超温保护和报警，及过热和热电偶断裂保护功能，保证了设备和人员安全。
控温精度可以达到±1℃
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
技术参数
设备名称 自动压力控制CVD管式炉
设备型号 KJ-1200T
最高工作温度 1200℃
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议0-10 ℃/min
炉管尺寸 外径 50mm x 长1200 mm (其他尺寸可按客户需求定制)
加热区长度 200mm+200mm+200mm(其他尺寸可按客户需求定制)
热电偶 N型
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
压力调节系统 质量流量计一台：可根据泵压力调节
压力传感器：安装在炉管出口处
触摸屏控制器
皮拉尼真空计 安装在炉管进气侧
四通道MFC气体混合站 显示：液晶触摸屏
最大压力：3×10^6Pa
四个精密质量流量计：
底壳上安装有1个气体混合罐，底壳左侧安装有5个不锈钢针阀，可手动控制4种气体混合。
真空泵 涡旋真空泵
售后服务 质保一年，终身保修
330 
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