设备介绍
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口
氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
产品优势
保温节能炉膛
内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
安全防烫炉壳
炉壳采用双层壳体结构，并带有风冷系统，用于降低壳体表面温度
PID30段程序化控温
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
技术参数
设备名称 温区CVD管式炉
设备型号 KJ-1200T-S60LK3-3FZ
高温炉壳 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，用于降低壳体表面温度
加热元件 电阻丝
最高工作温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议≤10 ℃/min
炉管材质尺寸 石英管: 外径: 80mm x 内径: 75 mm x 长度: 1000 mm
(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热区长度 三温区：200+200+200 mm
(其他尺寸可根据客户需求定制)
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀)，最大漏气率6 mtorr/min
真空显示计 数显真空计,已安装在不锈钢法兰上
混气系统
三个质量流量计
三路质量量程分别为
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
内部安装有一混气罐
售后服务 质保一年，终身保修
可选配件：
质量混气系统1台、双旋机械泵1台、N型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份
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