基础金属	铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材
稀有金属	稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼稀散金属锑铋铟锗镓硒钽锆贵金属白银钨钨精矿钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材钼钼精矿工业氧化钼钼铁钼化工高纯三氧化钼钼金属钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉
新能源	锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰锂电正负极三元前驱体磷酸铁正极材料石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极电解液隔膜隔膜电解液电芯

基础金属

铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材

稀有金属

稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼 稀散金属锑铋铟锗镓硒钽锆 贵金属白银钨钨精矿钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材钼钼精矿工业氧化钼钼铁钼化工高纯三氧化钼钼金属钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉

新能源

锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰 锂电正负极三元前驱体磷酸铁正极材料石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极 电解液隔膜隔膜电解液电芯

磁控溅射仪

567

规格/型号：暂无

品牌：科睿设备

应用领域：加工设备

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：科睿设备有限公司

咨询电话:：13916855175（请说明信息源自“中冶有色网”）

更新时间：2025-06-15

级别：待认证

磁控溅射仪说明介绍

磁控溅射仪

这是一款高性能的磁控溅射仪，适用于4英寸和6英寸衬底，具备4个靶位，靶材尺寸为3英寸，可溅射磁性材料。设备极限真空度低于6.6×10⁻⁶ Pa，膜厚均匀性控制在±5%以内。靶与样品距离可调，并可在30度内摆头。配备load-lock系统，可放置5片6英寸样品，电动马达在高真空状态下顺序传送并溅射样品。样品台可加热至750℃并支持旋转，配备全自动真空控制模块。气路支持Ar、O₂、N₂，提供2个600W射频电源和2个1000W直流电源，满足多种薄膜制备需求。

衬底尺寸：4'为主，6'兼容。

溅射金属膜厚均匀性要求：≤±5%。

靶位：4个。

极限压力：<6.6×10-6e Pa。

靶材尺寸：3英寸。

可溅射磁性材料。

靶与样品距离可调，且可以在30度角度内摆头。

配置load-lock，可放置5片6英寸样品，在高真空状态下，由电动马达分别传送每片样品，顺序溅射每片样品，逐一完成5片溅射镀膜。

样品台可加热至750度，可旋转。

全自动真空度控制模块。

气路：Ar、O2、N2。

射频电源：2个，每个600W。