上海有色金属设备

光学表面缺陷分析仪 493     

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Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料，又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测，其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。

阴极荧光成像光谱探测系统 456     

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阴极荧光成像光谱探测系统（Cathodoluminescence, CL）是一种高精度的分析工具，通常配置在扫描电镜或透射电镜中，能够实现形貌观察、结构和成分分析与阴极荧光光谱的结合研究，并支持全光谱荧光扫描成像。该系统利用高能量、小束斑的电子束激发样品，具有高空间分辨率、高激发能量、宽光谱范围和大激发深度等优点，特别适用于半导体材料与器件、荧光材料（如地质、考古材料）等的微观分析。在微米、纳米尺度的半导体量子点、量子线等荧光物质的研究中，阴极荧光技术能够揭示发光性质及电子结构，具有重要的应用价值。

数字源表 566     

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PSS SMU S100型数字源表源表是高精度、大动态范围、数字触摸的率先国产化的源表，集电压、电流输入输出及测量等多种功能，输出电压达300V，测试电流达100pA，支持四象限工作，因此能广泛的应用于各种电气特性测试中:半导体IC或元器件，功率器件，传感器，有机材料与纳米材料等特性测试和分析。

薄膜沉积设备 447     

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Desk V镀膜系统提供两种版本：Desk V HP和Desk V TSC。Desk V TSC，是涡轮分子泵溅射镀膜机选项，专为高分辨率显微镜样品设计，适用于氧化和非氧化金属。Desk V磁控溅射装置精确沉积导电镀膜，其热蒸发选项可以沉积薄碳层(使用棒材或纱线)。

热蒸发和样品制备 458     

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BenchTop Turbo灵活、紧凑，可用于热蒸发和样品制备，是一种功能强大、用途广泛的高真空蒸发和溅射系统。其能够进行全范围、低电压（电阻）热蒸发，且可以通过溅射生产细晶粒薄膜，用于高分辨率显微镜领域。

薄膜沉积-磁控溅射 530     

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如果实验室空间是您关心的问题，紧凑、高真空Desktop Pro溅射系统生产能力大，而占用的桌面空间不到36英寸(914mm)。Desktop Pro可以提供共聚焦溅射以及磁性和/或介电材料的沉积。

热蒸发薄膜沉积 461     

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DV-502 热蒸发系统蒸发光学镀膜、金属化和电子显微镜样品制备中涉及的许多金属，且没有可辩的污染。 DV-502还提供一系列配置的灵活性，以满足您的需求，包括从钨丝、金属丝筐、箔船、挡板箱加热器以及碳棒或纱线附件等多种来源蒸发。

电子束、磁控、热蒸发 薄膜沉积 471     

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Explorer是多功能的高真空研发和中试生产平台，其配置可为电子束(e-beam) 蒸发、电阻蒸发或磁控溅射。所有三种配置中均可选配离子辅助沉积功能。Explorer可在半手动模式下使用，也可升级到全自动模式，一键自动化操作，可以减少系统停机时间。

便携式原子力显微镜 616     

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ezAFM是新设计的精致型原子力显微镜，具有设计紧凑、美观大方、高稳定性、占用空间小等特点，而且软件功能强大、操作简单、用户界面良好，而且价格实惠，性价比较为高。它是理想的实验室用原子力显微镜，广泛应用于高等教育、纳米技术教育和基础研究等领域。产品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFMAQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等扫描，可以用于电学、磁学等拓展模式，以及液相、真空环境等。

化学机械抛光机 590     

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通过将产品固定在抛光头的较下面，抛光时，旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上，抛光液在抛光垫的传输和离心力的作用下，均匀分布其上，在硅片和抛光垫之间形成一层抛光液液体薄膜。抛光液中的化学成分与产品表面材料产生化学反应，将不溶的物质转化为易溶物质，或者将硬度高的物质进行软化，然后通过磨粒的微机械摩擦作用将这些化学反应物从产品表面去除，溶入流动的液体中带走，即在化学去膜和机械去膜的交替过程中实现平坦化的目的，通过先进的工艺可实现纳米级别的粗糙度效果。

双轴光电自准直仪 287     

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阜力牌双轴光电自准直仪FLMAT2020是上海阜力测量设备有限公司自主研发的高精度角度测量仪器，集成双轴光电检测技术与智能数据处理系统，可同时测量X、Y两个方向的角度偏差，适用于精密机械、光学仪器、计量检测等领域，为导轨直线度、平面度、光轴平行度等形位公差提供高效、精准的测量解决方案。

2.5次元投影仪 277     

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万豪2.5次元投影仪VMS-3020G是上海阜力测量设备有限公司代理的影像测量设备，结合光学投影与数字测量技术，通过非接触式检测实现二维轮廓尺寸的精密测量，适用于机械、电子、五金等行业的质量控制与研发验证，为中小企业提供高效、经济的二维测量解决方案。

数显外径千分尺 463     

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日本三丰数显外径千分尺293-240-30是三丰（Mitutoyo）品牌的经典精密测量工具，集成数显技术与高精度测微系统，适用于外径、厚度、沟槽等尺寸的0.001mm级测量，广泛用于机械加工、汽车制造、电子元件等领域，是工业生产与质量检测中的基础高精度量具。

视频工业内窥镜 263     

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上海阜力测量设备有限公司的阜力视频工业内窥镜WS-K是一款专为工业检测设计的便携式视频内窥镜，集成高清摄像头、柔性插入管与智能显示系统，适用于管道、机械、汽车、航空等领域内部缺陷（如裂纹、磨损、异物）的快速可视化检测，为设备维护、质量控制及故障诊断提供高效解决方案。

高精度轴承圆柱度仪 277     

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威而信高精度轴承圆柱度仪CA30是一款专为圆柱形零件（如轴承内外圈、轴类）设计的高精度测量设备，集成旋转测量技术与智能分析软件，可精准评估圆柱度、圆度、同轴度等形位公差，为轴承制造、汽车零部件、精密机械等行业提供高效的质量控制解决方案。

数显电子柱气动量仪 233     

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上海阜力测量设备有限公司的阜力数显电子柱气动量仪DZL-3D是一款基于气动测量原理的精密检测设备，集成电子柱显示与数显技术，适用于工业生产中孔径、轴径、间隙等尺寸的快速、高精度检测，为批量生产的质量控制提供高效解决方案。

三次元测量仪 328     

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上海阜力测量设备有限公司代理的爱德华三次元测量仪daisy564是一款高精度三维坐标测量设备，集成光栅位移技术、多测头系统与智能测量软件，适用于复杂零件的三维尺寸、形位公差及轮廓特征的精密检测，为工业制造、航空航天、模具研发等领域提供高效、准确的质量控制解决方案。

接触式轮廓测量仪 301     

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上海阜力测量设备有限公司的威而信接触式轮廓测量仪是一款基于触针式传感技术的精密检测设备，专注于工件表面轮廓、形状误差及尺寸参数的精准测量，为工业生产与研发中的质量控制、工艺分析提供高效解决方案。

触摸屏便携式分体粗糙度仪 239     

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上海阜力测量设备有限公司的阜力触摸屏便携式分体粗糙度仪FL300R是一款专为表面粗糙度检测设计的便携式设备，采用分体结构与触摸屏操作，适用于工业现场、实验室等场景，可快速、精准测量工件表面的微观几何形貌参数（如Ra、Rz等），为质量控制与工艺优化提供数据支持。

全自动二次元影像仪 257     

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上海阜力测量设备有限公司的万濠全自动二次元影像仪VMS-3020H是一款基于光学成像与图像处理技术的高精度测量设备，集成全自动控制与智能软件系统，适用于工业领域二维尺寸、形位公差及轮廓特征的快速、精准检测，为质量控制与研发提供高效解决方案。

全自动智能金相切割机 226     

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上海阜力测量设备有限公司的全自动智能金相切割机FZQ-300F是一款专为金相试样制备设计的高精度设备，集成自动化控制与智能操作系统，适用于金属、陶瓷、复合材料等样品的精密切割，为材料分析、质量控制及科研领域提供标准化试样制备解决方案。

2D测高仪 285     

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上海阜力测量设备有限公司代理的德国马尔（Mahr）2D测高仪817CLT，是一款高精度、多功能的接触式测量设备，专为精密制造领域设计，适用于尺寸、形位公差及几何特征的快速、准确检测。

6/8英寸 碳化硅SiC长晶设备 664     

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PVT碳化硅晶体生长工艺主要通过设置合适的长晶温度以及长晶气压，在此温度以及气压下SiC发生明显的分解与升华，产生Si和SiC蒸气压，在高温炉内形成的温度梯度作用下向低温方向输送并凝聚在顶部和底部较低温度处，形成SiC晶体.

金刚石长晶设备 529     

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微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统，微波发生器产生的微波用波导管传输至反应器，并向反应器中通入不同气体构成的混合气体，高强度微波能激发分解基片上方的含碳气体形成活性含碳基团和原子态氢，并形成等离子体，从而在基片上沉积得到金刚石薄膜。

高精度太赫兹成像分析仪 361     

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FalconWave®-S系列适合于实验室或研发部门的抽样分析，科研机构的学术研究等，可为客户提供高清晰度大动态范围太赫兹成像，并从成像数据中分析被测样品的质量。

原子层沉积系统ALD产品 612     

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原子层沉积（atomiclayerdeposition,ALD）是通过气相前驱体及反应物脉冲交替的通入反应腔并在基底上发生表面化学反应形成薄膜的一种方法，通过自限制性的前驱体交替饱和反应获得厚度、组分、形貌及结构在纳米尺度上高度可控的薄膜。该方法对基材不设限，尤其适用于具有高深宽比或复杂三维结构的基材。采用ALD制备的薄膜具有高致密性（无针孔）、高保形性及大面积均匀性等优异性能，这对薄膜的使用具有重要的实际意义。

三维测量显微镜 477     

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三维表面微观测量及粗糙度评定广泛应用于精密加工、半导体加工、材料分析等领域

晶圆翘曲应力测量仪 612     

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具备三维翘曲（平整度）及薄膜应力的检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产.

内应力检测仪 501     

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内应力检测仪（型号：SV）是一款用于测量化合物晶圆内应力分布及缺陷筛查的设备。它基于双折射应力测量模型，能够实现应力的瞬时测量，并以二维分布伪彩图的形式显示结果。设备采用双远心检测光路，确保相位延迟测量的高精度，并提供多种镜头选择以满足不同的测量视场需求。此外，设备还配备定制化的样品托盘，便于批量测试不同规格的晶圆。

半自动晶圆键合仪 521     

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SUME BW510是用于研发或小批量生产的半自动晶圆键合设备，具备良好的压力与温度均匀性较为特的结构设计保证键合的压盘相对水平，先进的真空系统以及腔体设计，方便简洁的菜单编辑和设备状态监控以及安全保护功能。SUMEBW510可兼容大部分品圆尺寸，开放式腔体设计便于维护保养，以及不同规格转换，占地面积小，功能齐全。