内应力检测仪
内应力检测仪（型号：SV）是一款用于测量化合物晶圆内应力分布及缺陷筛查的设备。它基于双折射应力测量模型，能够实现应力的瞬时测量，并以二维分布伪彩图的形式显示结果。设备采用双远心检测光路，确保相位延迟测量的高精度，并提供多种镜头选择以满足不同的测量视场需求。此外，设备还配备定制化的样品托盘，便于批量测试不同规格的晶圆。
型号：SV
具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能。
优势
√基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量，显示应力二维分布伪彩图
√采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高
√根据不同测量视场要求，多种镜头可选
√订制化样品托盘，适应不同规格晶圆批量测试
适用对象
适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测
适用领域
面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业
检测原理
√基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算��材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布；
√可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测。
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