本发明公开了一种柔性多维力觉压力传感器，包括柔性衬底；置于柔性衬底上的电极；电极之间的电介质层、分隔层、电极引线、流体通道、溢流水库以及封装层。柔性衬底包括上层柔性衬底和下层柔性衬底，电极分为上下电极和内外侧电极，在上层柔性衬底上涂敷上层电极和内侧电极，在下层柔性衬底上涂敷下层电极和外侧电极，内侧电极和上层电极采用柔性分隔层封装，以防止上下层电极或内外侧电极直接接触而使传感器失效。电极层中粘附有延伸到电极层外部的引线，相邻传感器单元间设有流体通道来连接溢流水库，整个传感器最后采用封装层封装。本发明提出的柔性多维力觉压力传感器阵列具有灵敏度高，重复性好，用途广泛等优点，可以实现对载荷的大小及方向检测。
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来源：北方有色网
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