本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式,方便产品研发,改善产品整体性能,步骤如下:1.微加速度计于温度应力下的强化测试步骤;2.微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤;3.微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力,了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况,以便解决微加速度计的缺陷,提高微加速度计的整体性能、可靠性,利于高可靠性微加速度计新产品开发。
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来源：北方有色网
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